웨이퍼를 진정으로 깨끗하게 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때, 열은 단지 절반의 역할만 합니다. 진짜 문제는 미세한 입자들이 발생하는 것입니다. 클래스 100급 청정실에서라도, 작은 금속 조각이나 접착제의 잔여물만으로도 전체 센서 제품군이 망가질 수 있습니다. 이는 매우 실망스럽고 비용도 많이 드는 문제입니다. 하지만 이러한 문제는 완전히 피할 수 있습니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프는 오염을 일으키지 않습니다.
왜 석영이 효과적인가?
대부분의 히터는 금속 또는 세라믹 소재로 만들어집니다. 문제는 이러한 재료들이 시간이 지나면서 미세한 입자들을 방출한다는 것입니다.
하지만 석영 램프는 다릅니다. 이 램프는 복사형 열전달 방식을 사용하여, 열이 직접 필라멘트에서 웨이퍼로 전달됩니다. 중간에 다른 매개체가 없기 때문에, 센서에 오염물질이 닿을 가능성이 없습니다. 우리는 특별히 선택된 고순도 석영을 사용하여, 아무리 높은 온도에서도 유리가 파괴되거나 가스가 배출되지 않도록 합니다.
능률과 열의 균형
빠른 건조를 위해서는 많은 와트수의 전력이 필요합니다. 그래서 우리는 작은 공간에 많은 전력을 집중시킵니다. 이 방식으로 웨이퍼는 빠르게 건조됩니다. 하지만 이러한 강력한 열 때문에 램프 표면이 매우 뜨거워집니다. 만약 냉각 팬이나 히트 싱크가 제대로 작동하지 않으면, 기계의 회로나 프레임이 과열될 수 있습니다. 따라서 이러한 장비를 밀폐된 공간에 설치하기 전에 반드시 공기 흐름을 확인해야 합니다. 그렇게 하면 나중에 큰 문제를 피할 수 있습니다.
작업을 더 쉽게 만드는 방법
우리는 가동 중단 시간을 최소화하기 위해 이 램프들을 쉽게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 램프가 고장나면 그냥 빼내고 새 것을 넣으면 됩니다. 전체 장비를 다시 조정할 필요가 없습니다.
또한 석영 표면에 주름이 생기는 것을 방지하기 위해 특별한 처리를 합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 전체에 고르게 열이 분배되어, 뜨거운 부분이 생겨 웨이퍼가 변형되는 것을 방지할 수 있습니다.
마지막 팁: 유리 표면을 깨끗하게 유지하세요. 설치할 때 지문이나 피부의 기름기가 석영 표면에 남으면, 그것들이 유리에 영구적으로 남게 됩니다. 그러면 영구적인 오염 지점이 생기고, 램프를 교체해야 합니다. 장갑을 착용하고 유리 표면을 깨끗하게 유지하면 문제가 없습니다.