고순도 석영 가열 소자

팹 내에서의 포토레지스트 건조 과정은 단순한 열처리 공정이 아닙니다. 이는 매우 정밀한 제어가 필요한 과정입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 시 2°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 크기 오차가 발생할 수 있으며, 리소그래피 스캐너가 오차를 감지하기 전에 웨이퍼...