에너지 절약형 반도체 히팅

왜 반도체 제조 공정에서는 열풍을 사용하는 대신 적외선을 활용하는가? 대류식 오븐이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열하고, 그 다음에 그 공기가 웨이퍼를 가열합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 심도 있는 처리 공정에서는 이러한 지연 시간이 곧 낭비된...