웨이퍼용 고정밀 IR 센서

정확한 웨이퍼 온도 측정 방법 (추측 없이) “스마트 팹”을 구축하려 한다면, 수동으로 샘플을 채취하는 것이 얼마나 힘든 일인지 이미 알고 있을 것입니다. 이 방법은 매우 느리고 번거롭으며, 실제로 웨이퍼 내부에서 무슨 일이 일어나고 있는지 알려주지도 않습니다. 바로...