에바테크 증발기 가열 램프

24/7으로 가동되는 생산 라인에서 유응축기용 가열 램프가 고장나면, 단순히 한 대의 장비만 멈추는 것이 아닙니다. 리소그래피 공정이 중단되고, 온도 조절이 제대로 이루어지지 않으며, 포토레지스트의 건조 과정도 정상적으로 진행되지 않습니다. 가동 시간은 분 단위로 측...