UHP(초고순도) 히터 램프

고부하 환경에서의 웨이퍼 오염 문제 해결하기 반도체 공장에서는 램프가 고장 나는 것이 큰 문제입니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 유리 조각들과 각종 불순물들이 웨이퍼 위로 떨어지기 때문입니다. 이러한 문제를 막기 위해 우리는 UHP 히터 램프를 개발했습니...