MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

웨이퍼를 진정으로 깨끗하게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때, 열은 단지 절반의 역할만 합니다. 진짜 문제는 미세한 입자들이 발생하는 것입니다. 클래스 100급 청정실에서라도, 작은 금속 조각이나 접착제의 잔여물만으로도 전체 센서 제품군이 망가질 수...