사파이어 웨이퍼 가공용 히터

라인 위에는 150mm 크기의 사파이어 웨이퍼가 있으며, 이 웨이퍼는 포토레지스트를 처리하기 위해 준비되어 있습니다. 여기서는 온도 변동이 단 0.5도만 되어도 중요한 치수에 영향을 미칠 수 있으며, 단 하나의 입자라도 작업을 망칠 수 있습니다. 그래서 히터는 공정...