클린룸 오븐 적외선 히터

리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 가열할 때 단 0.5도만의 온도 변동도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이로 인해 많은 웨이퍼가 폐기되고 맙니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는 히터가 입자를 방출하지 않으면서도 일정한 온도를 유지해야 합니다. 저희는...