팹 램프용 석영 유리 실드
고출력의 적외선 램프를 사용하는 반도체 제조 장비를 다룬 적이 있다면, 그 곤란함을 잘 알 것입니다. 램프를 켜자마자 기계 전체가 열을 흡수하기 시작합니다. 이는 매우 성가신 상황입니다. 이러한 방사열을 제어할 수 없다면, 열은 웨이퍼에만 가해지는 것이 아니라 사방으...
고순도 석영 가열 소자
팹 내에서의 포토레지스트 건조 과정은 단순한 열처리 공정이 아닙니다. 이는 매우 정밀한 제어가 필요한 과정입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 시 2°C만큼의 온도 변화가 생겨도 치명적인 크기 오차가 발생할 수 있으며, 리소그래피 스캐너가 오차를 감지하기 전에 웨이퍼...