팹 램프용 석영 유리 실드

고출력의 적외선 램프를 사용하는 반도체 제조 장비를 다룬 적이 있다면, 그 곤란함을 잘 알 것입니다. 램프를 켜자마자 기계 전체가 열을 흡수하기 시작합니다. 이는 매우 성가신 상황입니다. 이러한 방사열을 제어할 수 없다면, 열은 웨이퍼에만 가해지는 것이 아니라 사방으...