정확한 웨이퍼 온도 측정 방법 (추측 없이) “스마트 팹”을 구축하려 한다면, 수동으로 샘플을 채취하는 것이 얼마나 힘든 일인지 이미 알고 있을 것입니다. 이 방법은 매우 느리고 번거롭으며, 실제로 웨이퍼 내부에서 무슨 일이 일어나고 있는지 알려주지도 않습니다. 바로...

위험한 화학물질이 있는 환경에서도 발광체를 안전하게 보호하기 만약 화학적 세척 공정에서 적외선 발광체를 사용한다면, 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 불이 붙기 쉬운 증기들과, 접촉하는 모든 것을 파괴할 수 있는 화학물질들을 다루어야 하기 때문입니다. 이러한 환경...