심부 자외선(DUV) 리지스트 경화 램프

리소그래피 공정에서, 소프트 베이크 과정 중 0.2°C의 온도 변동은 사소한 문제가 아닙니다. 이는 생산성에 직접적인 영향을 미칩니다. DUV 포토레지스트는 열처리가 시작된 처음 몇 분 안에 그 크기가 확정되며, 베이크 과정을 통해 용매 제거, 필름의 응력, 가장자리...