真空チャンバー用赤外線ヒーター

半導体用真空チャンバーで高出力の赤外線ランプを使用したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。常に熱の問題と戦っているのです。 問題は、一般的なランプではエネルギーが360度全方位に散乱してしまうことです。密閉された真空環境では、その熱のほとんどがウェーハに当たることはありません。代わりに...