वेफर के तापमान को सही तरीके से जानना (अनुमान लगाए बिना)
यदि आप “स्मार्ट फैब” बनाने की कोशिश कर रहे हैं, तो आपने शायद महसूस किया होगा कि मैनुअल नमूना लेना बहुत ही कठिन काम है। यह धीमा है, थकाऊ है… और वास्तव में, यह आपको उस क्षण में वास्तव में क्या हो रहा है, इसकी जानकारी नहीं देता।
ऐसी स्थितियों में ही उच्च-सटीकता वाले आईआर सेंसरों का उपयोग किया जाता है। ये सेंसर हमें 300 मिमी आकार के वेफर का तापीय प्रोफ़ाइल कुछ ही मिलीसेकंड में दिखा देते हैं… और इसके लिए वेफर को छूने की आवश्यकता ही नहीं है। यही तो ऐसी गति एवं सटीकता प्राप्त करने का एकमात्र तरीका है।
यह कैसे काम करता है?
ये सेंसर, वेफर की सतह से निकलने वाले विद्युत-चुम्बकीय विकिरणों को पकड़ते हैं। तकनीशियन को नोट्स लिखने की आवश्यकता ही नहीं है… क्योंकि कच्चा डेटा सीधे ही PLC या SCADA सिस्टम में जाता है।
आप वेफर के संपूर्ण क्षेत्र में तापमान की समानता देख सकते हैं… यदि कहीं तापमान अधिक हो जाता है, तो सिस्टम तुरंत ही उस जगह पर हीटिंग तत्वों को समायोजित कर देता है। अब आपको बस उम्मीद करने की आवश्यकता ही नहीं है… कि उत्पाद ठीक ही बनेगा।
हार्डवेयर को ठीक से काम करने हेतु…
यदि फैब को वास्तव में “स्मार्ट” बनाना है, तो आपके हार्डवेयरों को एक-दूसरे के साथ ठीक से काम करना होगा। हम यह सुनिश्चित करते हैं कि हमारे आईआर सिस्टम मानक सिग्नलों का उपयोग करें… जैसे 4-20mA या डिजिटल प्रोटोकॉल… ताकि वे आपके मौजूदा डेटा सिस्टम में आसानी से जुड़ सकें।
इससे एक “बंद-लूप” प्रणाली बन जाती है… आप केवल स्क्रीन पर तापमान में होने वाले परिवर्तनों को देख ही नहीं रहे हैं… बल्कि आप उस डेटा का उपयोग मशीनों को नियंत्रित करने हेतु कर रहे हैं।
वास्तविकता…
ईमानदारी से कहूँ तो, उच्च-सटीकता वाले आईआर सेंसर कोई जादुई उपकरण नहीं हैं… इनके लिए स्पष्ट दृश्य-मार्ग आवश्यक है। यदि चैंबर में भाप या गंदगी हो, तो आपके पढ़ने के आंकड़े गलत हो जाएंगे… यह निराशाजनक है… लेकिन यही तो भौतिकी है।
आपको इसके लिए योजना बनानी ही होगी… चाहे वह ऑप्टिकल पथ की नियमित देखभाल हो, या लेंसों को साफ रखने हेतु विशेष प्रणालियों का उपयोग हो… आपको ऐसा ही करना होगा। क्योंकि यदि विंडो गंदी है, तो आपके “स्मार्ट” डेटा तो बेकार ही हो जाएंगे… यह थोड़ा अतिरिक्त काम है… लेकिन यही तो उच्च-सटीकता वाले सेमीकंडक्टर उत्पादन हेतु आवश्यक है।