वेफरों के सुखाने हेतु उपयुक्त रिफ्लेक्टर का चयन
जब आप सेमीकंडक्टर फैक्ट्रियों में वेफरों को सुखाते हैं, तो आप गर्मी के साथ एक जोखिमभरा खेल खेल रहे होते हैं। थोड़ी सी गलती से ही वेफरों पर विकृति या रासायनिक प्रदूषण हो सकता है।
इसीलिए हम इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करते हैं। यह ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचाता है। गर्म हवा या खतरनाक विलायकों का उपयोग करने की कोई आवश्यकता ही नहीं है। यह तरीका अधिक सुरक्षित है, एवं वास्तव में यह “हरित” मानकों के अनुरूप है।
रिफ्लेक्टर का महत्व
वास्तव में, इन्फ्रारेड लैंप अपने आप में कुछ हद तक अस्थिर होता है। यह विकिरण को हर दिशा में फैला देता है। यदि आप लैंप को केवल एक आवरण में रख देते हैं, तो आप अपनी आधी ऊर्जा बर्बाद कर देते हैं।
हम इस समस्या को उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम या सोने से बने रिफ्लेक्टरों के उपयोग से हल करते हैं। ये रिफ्लेक्टर बर्बाद हुई ऊर्जा को पकड़कर उसे वापस वेफर पर भेज देते हैं। इससे ऊष्मा का प्रवाह दोगुना हो जाता है। हम इन रिफ्लेक्टरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि वे छोटी तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड तरंगों को ही प्रतिबिंबित करें, ताकि ऊष्मा वेफर पर ही पड़े, न कि वेफर के कैरियर पर।
ऊष्मा से निपटना
उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं। यदि रिफ्लेक्टर परफेक्ट पैराबोलिक/एलिप्टिकल आकार का न हो, तो सिलिकॉन पर “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं। इसके अलावा, यदि रिफ्लेक्टर का कोण गलत हो, तो वेफरों का सुखाना असमान हो जाता है।
यह तो भौतिकी की समस्या भी है… यदि रिफ्लेक्टर गर्मी के कारण विकृत हो जाता है, तो ऊष्मा का केंद्र भी बदल जाता है… इसीलिए हम ऐसे रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं जो गर्मी के कारण भी अपना आकार बनाए रख सकें।
विकल्प/चुनौतियाँ
आप सोचेंगे कि “अधिक परावर्तन क्षमता = बेहतर”, लेकिन ऐसा नहीं है।
ऐसी उच्च-गुणवत्ता वाली सतहें बहुत ही संवेदनशील होती हैं… यदि आप इन्हें साफ करने हेतु अशुद्ध रसायनों का उपयोग करेंगे, तो रिफ्लेक्टिव परत नष्ट हो जाएगी… इसलिए सावधान रहें… सख्त सफाई प्रोटोकॉल का ही उपयोग करें।
एक और बात… अधिक ऊष्मा का अर्थ है कि आपके पावर सप्लाई एवं कूलिंग फैनों को अधिक काम करना होगा… अपने केबिन की वेंटिलेशन व्यवस्था की अच्छी तरह जाँच करें… यदि फैन पर्याप्त न हों, तो आप वास्तव में एक बहुत ही महंगा “ओवन” ही बना रहे हैं।