अपने वेफरों को पूरी तरह साफ रखना
जब हम MEMS सेंसरों के वेफरों को सुखाते हैं, तो गर्मी ही एकमात्र समस्या नहीं होती। वास्तविक समस्या तो कणों का निकलना है। क्लास 100 क्लीनरूम में, पुराने फिलामेंटों के छोटे-छोटे टुकड़े या गोंद के कण भी पूरे बैच के सेंसरों को नष्ट कर सकते हैं। यह बहुत ही परेशान करने वाली एवं महंगी समस्या है… लेकिन इससे बचा जा सकता है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज आईआर लैंपों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसे लैंपों से कोई संदूषण नहीं होता।
क्वार्ट्ज क्यों कारगर है?
अधिकांश हीटरों में धातुओं या सिरेमिक सामग्रियों का उपयोग किया जाता है… लेकिन ऐसी सामग्रियों से समय के साथ सूक्ष्म कण निकलने लगते हैं।
हमारे क्वार्ट्ज लैंप अलग तरीके से काम करते हैं… इनमें विकिरण-आधारित ऊष्मा हस्तांतरण होता है… अर्थात् ऊष्मा सीधे ही फिलामेंट से वेफर तक पहुँच जाती है… इसमें कोई मध्यस्थ नहीं होता… इसलिए सेंसरों पर कोई संदूषण नहीं होता। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं… ताकि गर्मी बढ़ने पर भी काँच टूटे नहीं, एवं कोई गैस भी न निकले।
शक्ति एवं ऊष्मा – एक तरह का समझौता
जल्दी से वेफरों को सुखाने हेतु, हम बहुत अधिक शक्ति का उपयोग करते हैं… लेकिन इसके कारण लैंप की सतह बहुत गर्म हो जाती है… यदि कूलिंग फैन या हीट सिंक पर्याप्त न हों, तो मशीन के घटक नष्ट हो सकते हैं… इसलिए, लैंपों को लगाने से पहले एयरफ्लो की जाँच जरूर करें… ऐसा करने से आपको बाद में कोई परेशानी नहीं होगी।
काम को आसान बनाना
हम जानते हैं कि बंद रहना एक बड़ी समस्या है… इसलिए हमने ऐसे लैंपों को आसानी से बदलने योग्य बनाया है… हमने मानक कनेक्टरों का ही उपयोग किया है… इसलिए जब कोई लैंप खराब हो जाता है, तो उसे आसानी से निकालकर नया लैंप लगा दिया जा सकता है… पूरे सिस्टम को पुनः कैलिब्रेट करने की कोई आवश्यकता नहीं है।
हमने क्वार्ट्ज की सतह पर खरोंच न हो, इसके लिए भी विशेष उपाय किए हैं… ऐसा करने से वेफर पर समान ऊष्मा वितरित होती है… जो कि पतली MEMS झिल्लियों के लिए बहुत ही महत्वपूर्ण है… क्योंकि ऐसी झिल्लियाँ “हॉट स्पॉट” के कारण विकृत हो सकती हैं।
एक अंतिम सलाह: काँच को हमेशा साफ रखें… यदि लैंप लगाते समय काँच पर उंगलियों के निशान या त्वचा का तेल लग जाए, तो वह काँच में ही चला जाएगा… ऐसी स्थिति में लैंप को बदलना ही होगा… दस्ताने पहनकर काम करें, ताकि काँच साफ रहे… ऐसा करने से आपको कोई परेशानी नहीं होगी।