फैब फ्लोर पर, आप जानते ही हैं कि क्या होता है – बेकिंग तापमान में 0.5°C का भी बदलाव, उत्पादों के आकारों में नैनोमीटर स्तर पर बदलाव ला सकता है; इससे घंटों की मेहनत बर्बाद हो जाती है। मीडियम-वेव इन्फ्रारेड हीटर, ऐसे बदलावों को रोकने हेतु ही बनाए गए हैं।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
मीडियम-वेव इन्फ्रारेड हीटर, ऊर्जा को सीधे फोटोरेसिस्ट एवं सब्सट्रेट में ही भेजते हैं – तेज़ गति से, लेकिन नियंत्रित तरीके से। हम बेकिंग क्षेत्र में वेफर के तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखते हैं; लोड के दौरान भी यह स्थिरता ±0.2°C के भीतर ही रहती है। एमिशिविटी को सिलिकॉन एवं अन्य फिल्मों के अनुरूप ही सेट किया जाता है, ताकि ‘सॉफ्ट बेक’ एवं ‘हार्ड बेक’ के दौरान कोई समस्या न हो।
हीटर का डिज़ाइन ‘क्लीनरूम’ मानकों के अनुरूप है; इसकी सतहें ऐसी ही हैं कि कार्य के दौरान कोई कण उत्पन्न ही न हो। थर्मल प्रोफाइल में पुनरावृत्ति की संभावना ही नहीं है… हर बैच में तापमान समान ही रहता है।
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में इसका क्या लाभ है?
‘सॉफ्ट बेक’ का उद्देश्य विलायकों को निकालना एवं फिल्मों पर लगने वाले तनाव को नियंत्रित करना है। ‘हार्ड बेक’ का उद्देश्य फिल्मों की चिपकने की क्षमता एवं एटच-रेजिस्टेंस को बढ़ाना है। मीडियम-वेव इन्फ्रारेड हीटर की वजह से ये सभी प्रक्रियाएँ नियंत्रित ही होती हैं… इससे लाइन-विड्थ में कोई असमानता नहीं आती, एवं तापमान से संबंधित दोष भी नहीं होते।
इसका परिणाम यह है कि पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, पहली बार ही उत्पाद तैयार हो जाता है, एवं सीडी-नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… इसलिए 24/7 कार्य करने में भी कोई समस्या नहीं होती।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
स्थापना के दौरान सटीक ऑप्टिकल अलाइनमेंट एवं स्वच्छ विद्युत वातावरण आवश्यक है… वोल्टेज एवं कनेक्टरों की व्यवस्था भी होस्ट टूल के अनुरूप ही होनी चाहिए। मीडियम-वेव इन्फ्रारेड हीटर, उत्कृष्ट समानता प्रदान करता है… लेकिन हीटर को वेफर के आकार एवं चक की ज्यामिति के अनुरूप ही होना चाहिए।
आपको एमिशिविटी को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय चाहिए… एक बार यह सेट हो जाने के बाद, प्रक्रिया स्थिर ही रहती है, एवं रखरखाव भी कम ही होता है।