वेफर-स्तरीय CSP प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट संसाधन या सुखाने की प्रक्रिया के दौरान तापमान में कोई भी परिवर्तन स्वीकार्य नहीं है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 1°C का भी परिवर्तन महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है; साथ ही, सफाई के बाद बचा हुआ नमी भी उत्पादन क्षमता को कम कर सकता है। इसीलिए हमने ऐसी प्रक्रियाओं हेतु इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए – क्योंकि ऐसी प्रक्रियाओं में तापमान नियंत्रण अत्यंत आवश्यक है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करते हैं, ताकि वेफर पर तेज़ गति से, बिना किसी संपर्क के, एवं ±0.1°C की सटीकता के साथ ऊष्मा पहुँच सके। क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटर ऊर्जा को सीधे फोटोरेजिस्ट एवं सब्सट्रेट में पहुँचाता है; इससे तापीय विलंब कम रहता है, एवं बेकिंग प्रक्रिया भी सटीक रहती है। आप तापमान को नियंत्रित कर सकते हैं, एवं क्लोज्ड-लूप सेंसर इसे पूरे बैच में सटीक रूप से बनाए रखता है। इससे वेफर की मोटाई एवं सफाई के बाद बचने वाली खामियाँ भी नियंत्रित रहती हैं।
यह हीटर क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए उपयुक्त है – इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होता, सामग्री से कम गैस निकलती है, एवं सतह इतनी चिकनी होती है कि इसे आसानी से साफ किया जा सकता है। यह 24/7 काम करता है, एवं इसकी रखरखाव प्रक्रियाएँ भी नियमित हैं; इससे अप्रत्याशित रुकावटें नहीं होतीं।
यह हीटर प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
यह हीटर वेफर के सुखाने, फोटोरेजिस्ट के संसाधन एवं अन्य प्रक्रियाओं में आने वाली समस्याओं को दूर करता है। तेज़ गति से तापमान बढ़ने से प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं स्थिर तापमान से फोटोरेजिस्ट में होने वाली विविधताएँ भी कम हो जाती हैं। ऊर्जा की खपत भी कम होती है, क्योंकि एमिटर केवल आवश्यक समय पर ही सक्रिय होता है। इससे वेफर की मोटाई सटीक रहती है, सफाई के बाद खामियाँ कम हो जाती हैं, एवं उच्च मात्रा में उत्पादन भी संभव हो जाता है। परिणामस्वरूप पहली बार ही उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्राप्त होते हैं, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है – यह सब तापमान नियंत्रण के कारण ही संभव है।
आपको क्या जानना आवश्यक है?
इस हीटर की स्थापना हेतु आवश्यक है कि इसके इंटरफेस, ओएमई माउंटिंग पैटर्न, कनेक्टर प्रकार एवं वोल्टेज आपके प्लेटफॉर्म के अनुरूप हों। हीटर तभी सर्वोत्तम प्रदर्शन देता है, जब दृष्टि-मार्ग साफ हो एवं परावर्तक सतहों का उचित रूप से प्रबंधन हो। नियमित रूप से पाइरोमीटर का कैलिब्रेशन करना आवश्यक है, एवं एमिटर को नियमित रूप से बदलना भी आवश्यक है। ऐसा करने से ही ±0.1°C की सटीकता बनी रहती है, एवं प्रक्रिया भी नियंत्रण में रहती है।