लिथोग्राफी प्रक्रिया में, सॉफ्ट बेकिंग के दौरान 0.2°C का अंतर तो कोई मामूली बात ही नहीं है… यह तो उत्पादन दक्षता पर सीधा प्रभाव डालता है। DUV फोटोरेसिस्ट, थर्मल कंडीशनिंग के पहले ही मिनटों में अपने महत्वपूर्ण आयामों को बनाए रखता है… और बेकिंग प्रक्रिया, विलायकों के निष्कासन, फिल्म पर लगने वाले दबावों, एवं फिल्म के किनारों पर होने वाले परिवर्तनों को नियंत्रित करती है। जब थर्मल समानता बिगड़ जाती है, तो फिल्म पर विकृतियाँ आ जाती हैं… जिससे पूरी खेप बर्बाद हो सकती है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसी DUV रेसिस्ट बेकिंग लैम्पों का उपयोग करते हैं, जो नियर-इन्फ्रारेड (NIR) ऊष्मा का उपयोग करती हैं। ऐसी लैम्पों में थर्मल क्षेत्र उप-मिलीमीटर स्तर तक समान रहता है… एवं इनकी पुनरावृत्ति क्षमता भी उच्च स्तर पर होती है। रिफ्लेक्टर-आकार का हीट प्रोफाइल, वेफर की ज्यामिति के अनुरूप होता है… न कि सिर्फ हीटर के आउटपुट के अनुरूप। 300 मिमी आकार के वेफरों पर, बेकिंग जोन में तापमान को बहुत ही सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है… जिससे फोटोरेसिस्ट का तापमान भी सटीक रहता है… एवं फिल्म स्टैक की थर्मल स्थिरता भी बनी रहती है। यह सिस्टम “क्लीनरूम क्लास 1–100” के अनुरूप बनाया गया है… एवं ऐसी सामग्रियों/सीलों का उपयोग किया गया है, जिससे बेकिंग के दौरान कोई कण उत्पन्न ही न हो।
उत्पादन में ऐसी तकनीक क्यों उपयोगी है?
किसी फैक्ट्री में, हर शिफ्ट में, हर खेप में एक ही तरह का प्रदर्शन आवश्यक है… ऐसी लैम्पें 24/7 संचालन में भी प्रक्रिया की पुनरावृत्ति क्षमता को बनाए रखती हैं… एवं ऐसी लैम्पों के उपयोग से बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के ही उत्पादन होता है। इसका परिणाम है – कम रीवर्क, स्थिर CD समानता, एवं वेफर पर विलायकों का सटीक वाष्पीकरण… बिना किसी ओवन सेटिंगों में बदलाव या रखरखाव के।
व्यावहारिक विवरण जिन्हें नजरअंदाज नहीं किया जा सकता…
NIR बेकिंग तो तेज एवं स्वच्छ है… लेकिन इसके लिए सटीक ऑप्टिकल अलाइनमेंट एवं नियंत्रित वातावरण आवश्यक है। लैम्प को विशिष्ट फोटोरेसिस्ट स्टैक एवं वेफर की स्थितियों के अनुरूप ही होना चाहिए… अन्यथा, रिफ्लेक्टिविटी में अंतर के कारण वेफर पर विकृतियाँ आ सकती हैं। अपने वर्तमान फोटोरेसिस्ट के साथ पहले ही एक छोटा बेकिंग टेस्ट करें… फिर ही उसे अंतिम रूप दें। एक बार अलाइनमेंट हो जाने के बाद, प्रक्रिया में थर्मल स्थिरता आ जाती है… एवं लिथोग्राफी लाइन भी स्थिर रहती है।