फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, जैसे ही वेफर अंतिम धोने की प्रक्रिया से बाहर आता है, समय तुरंत ही शुरू हो जाता है। यदि वेफर को सुखाने में कोई देरी होती है, तो इससे वेफर पर दोष पैदा हो सकते हैं, एवं ऐसे कण भी वेफर के साथ ही लिथोग्राफी एवं एचिंग प्रक्रिया में जा सकते हैं। हमारे वेफर सुखाने वाले उपकरण, ऐसी स्थितियों को दूर करने हेतु डिज़ाइन किए गए हैं। ये उपकरण, सुखाने की प्रक्रिया के दौरान तापमान को नियंत्रित रखते हैं; इससे फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता हमेशा स्थिर रहती है।
वास्तव में, महत्वपूर्ण बात यह है कि हम क्वार्ट्ज आवरणों में शॉर्ट-वेव एवं मीडियम-वेव इन्फ्रारेड स्रोतों का उपयोग करते हैं; ऐसा इसलिए किया जाता है ताकि पानी एवं फोटोरेसिस्ट घोल इन तरंगों को ठीक से अवशोषित कर सकें। वेफर के समग्र तापमान में ±0.1°C की त्रुटि ही होती है, एवं तापमान स्तर हमेशा स्थिर रहता है। क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप डिज़ाइन किए गए ये उपकरण, कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों, सील्ड हाउसिंग एवं पॉजिटिव प्रेशर वाली वायु प्रवाह प्रणाली के कारण कणों के उत्पादन को कम करते हैं। 5,000+ घंटों तक उपकरण स्थिर रहता है, एवं तीव्रता में 5% से भी कम बदलाव होता है। एकीकृत कैलिब्रेशन प्रणालियों एवं PLC इंटरलॉक्स के कारण, हर बार तापमान नियंत्रित रहता है; एवं लैंप-रिफ्लेक्टर डिज़ाइन के कारण ऊर्जा की खपत कम होती है।
वेफर को तेज़ी से सुखाने हेतु, तापमान को नियंत्रित रखना आवश्यक है। ऐसे उपकरण, वेफर से वेफर तक, लॉट से लॉट तक, दिन से दिन तक तापमान को स्थिर रखते हैं। जब किनारे से केंद्र तक का तापमान अंतर समाप्त हो जाता है, तो प्रक्रिया आसान हो जाती है। इससे फोटोरेसिस्ट की मोटाई स्थिर रहती है, दोष कम हो जाते हैं, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत कम होती है, क्योंकि लैंप तेज़ी से तय तापमान तक पहुँच जाता है, एवं वहाँ ही रहता है। लैंप की आउटपुट को आपके सब्सट्रेट एवं उपकरणों की आवश्यकताओं के अनुरूप बनाने हेतु, पावर डेनसिटी, स्पेक्ट्रल रिस्पॉन्स एवं माउंटिंग ज्यामिति महत्वपूर्ण हैं। हम अपने उपकरणों का आकार वेफर के व्यास, सुखाने के समय एवं क्लीनरूम क्लास के अनुसार ही निर्धारित करते हैं। हम मानक PLC एवं सुरक्षा इंटरलॉक्स से जुड़े इंटरफेस भी प्रदान करते हैं। लैंप का तापमान धीरे-धीरे ही बढ़ता/घटता है; ऐसा इसलिए किया जाता है ताकि लैंप एवं वेफर पर कोई नुकसान न हो। यह सुनिश्चित करें कि आपकी वेंटिलेशन एवं कूलिंग प्रणाली लैंप की आवश्यकताओं के अनुरूप हो। जब उपकरण सही तरीके से इंटीग्रेट किया जाता है, तो वह 24/7 काम कर सकता है, एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है।