Lựa chọn bộ phản xạ phù hợp để xử lý các tấm wafer
Khi xử lý các tấm wafer trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn, bạn đang tham gia vào một “trò chơi nguy hiểm” liên quan đến nhiệt độ. Chỉ cần một sai sót nhỏ thôi, bạn sẽ gặp phải tình trạng biến dạng của tấm wafer hoặc bị nhiễm chất hóa học.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng phương pháp xử lý bằng tia hồng ngoại. Phương pháp này giúp truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt tấm wafer. Không cần phải sử dụng không khí nóng hay các chất hóa học có hại. Phương pháp này vừa hiệu quả hơn, vừa ít gây ô nhiễm hơn; đồng thời cũng phù hợp với các tiêu chuẩn “xanh” mà chúng ta đang hướng tới, bằng cách loại bỏ chất thải.
Tại sao bộ phản xạ lại quan trọng?
Thực ra, chiếc đèn hồng ngoại thông thường sẽ phát ra bức xạ theo mọi hướng. Nếu chỉ đặt đèn vào vỏ bảo vệ, bạn sẽ lãng phí một nửa năng lượng của nó.
Chúng ta khắc phục vấn đề này bằng cách sử dụng các bộ phản xạ được làm từ nhôm hoặc vàng có độ tinh khiết cao. Những bộ phản xạ này giúp thu hồi năng lượng bị lãng phí và truyền lại cho tấm wafer. Như vậy, lượng nhiệt truyền vào tấm wafer sẽ tăng gấp đôi. Chúng ta cũng điều chỉnh các bộ phản xạ này để chúng chỉ phản xạ tia hồng ngoại cường độ thấp, nhằm tránh làm hỏng bề mặt tấm wafer.
Xử lý vấn đề liên quan đến nhiệt độ
Các đèn có công suất cao sẽ tỏa ra nhiệt lượng cực lớn. Nếu bộ phản xạ không có hình dạng lõm hoặc elip hoàn hảo, bạn sẽ gặp phải tình trạng “điểm nóng” trên bề mặt silicon. Góc phản xạ không chính xác cũng khiến việc xử lý tấm wafer trở nên kém hiệu quả.
Đó cũng là cuộc chiến chống lại các quy luật vật lý. Nếu bộ phản xạ bị biến dạng do nhiệt độ, điểm tập trung của ánh sáng sẽ thay đổi. Mọi thứ sẽ trở nên hỗn loạn. Đó là lý do tại sao chúng ta phải chế tạo các bộ phản xạ có khả năng giữ nguyên hình dạng ngay cả trong điều kiện nhiệt độ cao.
Những điểm cần lưu ý
Bạn có thể nghĩ rằng “độ phản xạ càng cao thì càng tốt”, nhưng thực tế không phải vậy. Những lớp phủ cao cấp này rất nhạy cảm. Nếu bạn sử dụng các chất tẩy rửa mạnh để làm sạch chúng, bạn sẽ làm mất đi lớp phản xạ. Hãy chú ý đến quy trình làm sạch để giữ nguyên bề mặt phản xạ của chúng.
Và một lưu ý nữa: cường độ nhiệt càng cao thì nguồn điện và quạt làm mát cũng phải hoạt động nhiều hơn. Hãy kiểm tra kỹ hệ thống thông gió trong buồng sản xuất. Nếu quạt không đáp ứng được yêu cầu, bạn sẽ tạo ra một “lò nướng” rất đắt tiền.