Trên sàn sản xuất Một công cụ cấy ion hoặc lò nướng photoresist phải hoạt động 24/7 mà không bị drift. Nếu một phần tử gia nhiệt đơn lẻ bắt đầu hoạt...

Trên dây chuyền, sai số nhiệt độ không đi kèm với cảnh báo. Nó biểu hiện qua biến động độ rộng đường kẻ, photoresist không bám sau khi soft bake, và...