Giữ cho các tấm wafer luôn sạch sẽ khi được sấy khô
Khi sấy khô các tấm wafer dùng trong cảm biến MEMS, nhiệt độ chỉ là một yếu tố quan trọng thôi. Vấn đề thực sự nằm ở việc các hạt bụi có thể gây ô nhiễm cho các tấm wafer này. Trong phòng sạch loại Class 100, một mảnh vụn nhỏ từ dây tóc cũ hoặc một chút keo bị thoát ra cũng có thể phá hủy toàn bộ lô sản phẩm trong chốc lát. Điều này thật phiền phức, tốn kém, và hoàn toàn có thể tránh được.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại bằng thạch anh có độ tinh khiết cao. Những chiếc đèn này không gây ra ô nhiễm nào cả.
Tại sao thạch anh lại hiệu quả?
Hầu hết các loại bộ sưởi đều sử dụng vỏ bằng kim loại hoặc gốm. Vấn đề là những vật liệu này dễ tạo ra các hạt bụi theo thời gian.
Còn đèn thạch anh thì khác. Chúng sử dụng cơ chế truyền nhiệt bằng bức xạ, tức là nhiệt lượng được truyền trực tiếp từ dây tóc sang tấm wafer. Không có yếu tố trung gian nào có thể gây ô nhiễm cho các tấm wafer. Chúng tôi sử dụng loại thạch anh có độ tinh khiết cao, để đảm bảo rằng thạch anh không bị vỡ hay giải phóng khí gì khi nhiệt độ tăng cao.
Sự đánh đổi: Công suất và nhiệt độ
Để đạt được tốc độ sấy khô nhanh, chúng tôi sử dụng công suất lớn trong một không gian nhỏ. Điều này giúp các tấm wafer được sấy khô nhanh. Nhưng điều này cũng mang lại một nhược điểm: bề mặt của đèn trở nên cực kỳ nóng. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, các bộ phận của máy sẽ bị quá nhiệt. Trước khi lắp đặt đèn vào thiết bị, hãy kiểm tra kỹ lượng không khí lưu thông. Điều này sẽ giúp bạn tránh được nhiều rắc rối sau này.
Giúp việc vận hành dễ dàng hơn
Chúng tôi biết rằng thời gian ngừng hoạt động là kẻ thù lớn nhất, vì vậy chúng tôi thiết kế các đèn này sao cho dễ thay thế. Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn, vì vậy khi đèn hỏng, bạn chỉ cần thay thế nó thôi. Không cần phải mất hàng giờ để điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống.
Chúng tôi cũng xử lý bề mặt thạch anh để ngăn chặn sự xuất hiện của các vết ố. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ bề mặt tấm wafer. Điều này rất quan trọng đối với các màng MEMS mỏng manh, vì chúng dễ bị biến dạng nếu chịu tác động của nhiệt độ cao.
Một mẹo cuối cùng: Hãy giữ cho bề mặt thạch anh luôn sạch sẽ. Nếu bạn để dấu vân tay hoặc dầu da lên bề mặt thạch anh trong quá trình lắp đặt, chúng sẽ bám vào bề mặt thạch anh. Khi đó, bạn sẽ gặp phải vấn đề về nhiệt độ, và buộc phải thay thế đèn. Hãy sử dụng găng tay và giữ cho bề mặt thạch anh luôn sạch sẽ.