Trong quy trình xử lý phim quang học, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ sấy thay đổi 0,5°C thôi cũng có thể khiến các kích thước quan trọng của sản phẩm thay đổi vài nanomet, từ đó làm mất đi hàng giờ lao động trong quá trình sản xuất. Các bộ sưởi bằng sóng hồng ngoại tầm trung được thiết kế để ngăn chặn sự thay đổi nhiệt độ này.
Điều quan trọng nhất là gì? Các bộ sưởi bằng sóng hồng ngoại tầm trung giúp truyền năng lượng trực tiếp vào phim quang học và bề mặt vật liệu được xử lý – với tốc độ nhanh và kiểm soát chính xác. Chúng giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ ở mức ±0,1°C trong toàn bộ khu vực xử lý, và độ ổn định của nhiệt độ vẫn nằm trong khoảng ±0,2°C ngay cả khi máy hoạt động ở mức tải cao. Độ phát xạ của bộ sưởi được điều chỉnh sao cho phù hợp với silicon và các loại vật liệu khác, nhờ đó tránh được tình trạng nhiệt độ vượt quá mức cho phép trong quá trình xử lý.
Thân máy sưởi được chế tạo để phù hợp với môi trường phòng sạch, đạt tiêu chuẩn ISO Class 1–100. Bề mặt và các chi tiết kết nối của máy được chọn lựa kỹ lưỡng để đảm bảo không có hạt bụi nào được tạo ra trong quá trình máy hoạt động. Độ lặp lại của quá trình xử lý cũng được đảm bảo nhờ vào chế độ điều nhiệt chính xác; mỗi lần xử lý đều đạt được cùng một mức nhiệt độ như nhau.
Tại sao phương pháp này lại hiệu quả trong quy trình xử lý phim quang học? Quá trình sấy mềm nhằm loại bỏ chất dung môi và kiểm soát áp suất trên bề mặt phim. Quá trình sấy cứng thì nhằm đảm bảo tính kết dính và khả năng chống ăn mòn của phim. Với bộ sưởi bằng sóng hồng ngoại tầm trung, các bước xử lý này diễn ra trong phạm vi nhiệt độ chính xác, nhờ đó độ nhám của các đường kẻ trên phim được giảm thiểu, và các khuyết tật do nhiệt độ gây ra cũng không xuất hiện.
Điều này giúp giảm số lần phải tái xử lý, tăng tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn ngay từ lần đầu, và giúp kiểm soát chính xác độ chính xác của kích thước các chi tiết trên phim. Việc sưởi ấm được thực hiện một cách chính xác, nhờ đó lượng năng lượng tiêu thụ được giảm bớt, và máy vẫn hoạt động ổn định 24/7 mà không gặp sự cố nào.
Những gì cần chú ý khi lắp đặt Việc lắp đặt yêu cầu sự căn chỉnh quang học chính xác và môi trường cung cấp điện sạch – điện áp và các kết nối phải phù hợp với thiết bị chính. Bộ sưởi bằng sóng hồng ngoại tầm trung mang lại độ đồng đều tuyệt vời, nhưng máy phải được điều chỉnh sao cho phù hợp với kích thước của wafer và cấu trúc của bộ giữ wafer.
Bạn cần thực hiện một giai đoạn kiểm tra ngắn để điều chỉnh độ phát xạ của bộ sưởi sao cho phù hợp với loại phim được sử dụng. Một khi đã được điều chỉnh xong, quy trình xử lý sẽ diễn ra ổn định, và việc bảo trì cũng trở nên đơn giản hơn.