Stop het schrapnel: houd je wafers schoon bij het gebruik van IR-lampen met hoge belasting
Laten we eerlijk zijn: wanneer er een IR-lamp kapotgaat in een halfgeleiderfabriek, is dat een nachtmerrie. Het gaat niet alleen om het stilvallen van de machine; het gaat ook om de rommel die ontstaat. Er vallen glasstukjes en verdampte wolfraamdeeltjes op je wafers. Eén kapotte lamp kan al een hele batch in slechts seconden vernietigen. Dat is zeker niet hoe je je dinsdag wilt doorbrengen.
Omgaan met de hitte
We bouwen onze goudreflectoren zodat ze bestand zijn tegen de zware belasting die nodig is voor het verwarmen van wafers. De meeste lampen werken niet meer nadat ze beschadigd raken op plekken waar de elektroden in contact komen met kwarts. Om dit te voorkomen, gebruiken we hoogzuiver gefuseerd kwarts. Dit materiaal is beter bestand tegen extreme temperaturen en buigt niet uit onder hoge druk.
En die goudreflector? Die is niet alleen voor de sier. Hij stuurt het IR-straling precies naar waar het nodig is, waardoor minder hitte terugkeert naar de behuizing van de lamp. Als de behuizing koeler blijft, wordt er geen thermische schok veroorzaakt wanneer de stroomsterkte wordt verhoogd.
Het voorkomen van vuil
Het doel is simpel: houd het vuil buiten en het gereinigde materiaal binnen. We gebruiken een speciaal verzegelingsproces om lekkages van gas te voorkomen en om “brandgevaar” te vermijden, zoals je bij goedkope halogeenlampen ziet. Maar ongelukken gebeuren nu eenmaal. Als een lamp kapotgaat, moet het vuil worden opgevangen. Daarom raden we altijd aan om kwartsschermen te gebruiken. Dit vormt een fysieke barrière tussen het verwarmingselement en je kostbare wafers.
De echte compromissen
Als je een hoge dichtheid aan IR-straling wilt, heb je veel vermogen nodig. Je krijgt dan wel veel hitte, maar je voedingsoplossing en koelsystemen zullen hieronder lijden. Als de koellucht niet sterk genoeg is om de straling op te vangen, zullen de lampen erg snel beschadigen. Gebruik in ieder geval leidingen die bestand zijn tegen hoge temperaturen. Niemand wil te maken krijgen met gesmolten isolatie.