Memilih Reflektor yang Tepat untuk Proses Pengeringan Wafer
Ketika anda memproses wafer di fasiliti pengeluaran semikonduktor, anda sebenarnya sedang bermain dengan api yang berbahaya. Satu kesilapan kecil pun boleh menyebabkan wafer menjadi rosak atau tercemar secara kimia.
Itulah sebabnya kita menggunakan kaedah pengeringan menggunakan cahaya inframerah (IR). Cahaya ini menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Tidak perlu menggunakan udara panas atau bahan pelarut yang berbahaya. Kaedah ini lebih bersih dan efisien. Selain itu, ia juga sesuai dengan standard “hijau” yang kita inginkan, iaitu mengurangkan sisa buangan.
Mengapa Reflektor Sangat Penting
Lampu IR sahaja tidak cukup untuk proses pengeringan yang efektif. Cahaya yang dihasilkan oleh lampu IR tersebar ke semua arah. Jika lampu tersebut diletakkan begitu saja dalam kotak khas, separuh daripada tenaganya akan terbuang sia-sia.
Kita atasi masalah ini dengan menggunakan reflektor yang diperbuat daripada aluminium berkualiti tinggi atau dilapisi emas. Reflektor ini akan menangkap tenaga yang terbuang dan mengembalikannya ke wafer. Dengan cara ini, intensiti haba yang sampai ke wafer akan meningkat dua kali ganda. Kita juga menyesuaikan reflektor ini agar hanya memantulkan gelombang inframerah pendek sahaja, supaya haba tersebut dapat mencapai permukaan wafer tanpa merosakkannya.
Menghadapi Masalah Berkaitan Haba
Lampu berkuasa tinggi menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika reflektor tidak berbentuk parabola atau elips yang sempurna, haba tersebut akan tertumpu di bahagian tertentu pada wafer. Sudut yang salah pula akan menyebabkan proses pengeringan tidak sekata, sehingga wafer menjadi rosak.
Ia juga merupakan cabaran dari segi fizik. Jika reflektor berubah bentuk akibat haba yang tinggi, titik fokusnya juga akan berubah. Semua ini akan menyebabkan proses pengeringan tidak efektif. Itulah sebabnya kita perlu membuat reflektor yang mampu mengekalkan bentuknya walaupun berhadapan dengan suhu yang tinggi.
Kelebihan dan Kekurangan
Anda mungkin berfikir bahawa semakin tinggi kadar pantulan cahaya, semakin baik hasilnya. Namun, ia tidak semudah itu. Lapisan reflektor yang berkualiti tinggi ini sangat rapuh. Jika anda cuba membersihkannya menggunakan bahan kimia yang kasar, lapisan reflektor tersebut akan rosak. Oleh itu, gunakan kaedah pembersihan yang betul untuk memastikan permukaan reflektor tetap bersih.
Satu lagi tips: semakin tinggi kepadatan haba, semakin banyak tenaga yang diperlukan untuk menghidupkan lampu tersebut. Pastikan sistem pengudaraan di ruang kerja anda berfungsi dengan baik. Jika kipas tidak cukup kuat, maka anda sebenarnya sedang membina “dapur” yang sangat mahal.