Menjaga Kebersihan Wafer Semasa Proses Pengeringan
Ketika mengeringkan wafer sensor MEMS, haba hanyalah sebahagian daripada proses tersebut. Masalah sebenar ialah kehadiran zarah-zarah kecil yang boleh merosakkan wafer tersebut. Di bilik bersih kelas 100, sekeping serpihan kecil dari filamen lama atau sedikit gam yang terlepas boleh merosakkan keseluruhan batch sensor dalam masa yang singkat. Ini merupakan situasi yang menyusahkan, mahal, dan sebenarnya boleh dielakkan.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa berkualiti tinggi. Bahan ini tidak akan menimbulkan pencemaran sama sekali.
Mengapa Kuarsa Berkesan
Kebanyakan pemanas menggunakan badan pemanas yang diperbuat daripada logam atau bahan seramik. Masalahnya, bahan-bahan ini cenderung untuk menghasilkan zarah-zarah kecil dari masa ke masa.
Lampu kuarsa kami berfungsi secara berbeza. Ia menggunakan kaedah pemindahan haba secara radiasi, di mana haba langsung dipindahkan dari filamen ke wafer. Tidak ada perantara yang boleh menyebabkan pencemaran pada sensor. Kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi supaya kaca tersebut tidak pecah atau mengeluarkan gas, walaupun suhunya sangat tinggi.
Keseimbangan antara Kuasa dan Haba
Untuk mendapatkan masa pengeringan yang cepat, kita perlu menggunakan tenaga yang banyak dalam ruang yang kecil. Ini memang berkesan—wafer akan kering dengan cepat. Namun, intensiti haba yang tinggi ini menyebabkan permukaan lampu menjadi sangat panas. Jika kipas penyejuk atau sistem penyejukan tidak mencukupi, ia akan menyebabkan komponen mesin menjadi terlalu panas. Sebelum menyambung lampu ini ke mesin, pastikan aliran udara mencukupi. Ini akan mengelakkan masalah yang lebih serius nanti.
Memudahkan Kerja di Lapangan
Kami tahu bahawa masa henti adalah musuh utama, jadi kami membuat lampu ini mudah diganti. Kami menggunakan penyambung standard, jadi apabila lampu rosak, anda hanya perlu menggantikannya dengan yang baru. Tidak perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan semula seluruh sistem.
Kami juga memastikan permukaan kuarsa tetap bersih. Ini akan memastikan haba diagihkan secara merata pada seluruh wafer. Ini sangat penting untuk membran MEMS yang nipis, kerana ia boleh rosak jika terkena kawasan yang terlalu panas.
Satu lagi tip: pastikan kaca lampu tetap bersih. Jika ada cap jari atau minyak kulit pada permukaan kuarsa semasa pemasangan, ia akan kekal di sana. Ini akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu sejuk, dan lampu perlu diganti. Gunakan sarung tangan untuk menjaga kebersihan kaca tersebut.