Di bilik pemprosesan yang canggih ini, anda tahu bagaimana keadaannya: perubahan suhu sebanyak 0.5°C sahaja sudah cukup untuk mengubah dimensi penting bahan tersebut sehingga beberapa nanometer, dan ini akan merosakkan hasil kerja litografi yang memerlukan masa berjam-jam untuk diselesaikan. Pemanas inframerah gelombang sederhana direka untuk mencegah perubahan suhu tersebut daripada berlaku.
Apa yang benar-benar penting
Pemanas inframerah gelombang sederhana menyampaikan tenaga secara langsung ke permukaan fotoresist dan substrat—prosesnya cepat dan terkawal. Kita dapat mengekalkan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C di seluruh kawasan pemprosesan, manakala kestabilan suhu pula kekal dalam lingkungan ±0.2°C semasa proses berlangsung. Keluaran haba pula diselaraskan agar sesuai dengan silikon dan lapisan-lapisan lain yang digunakan, supaya tidak berlaku masalah semasa proses pemprosesan.
Badan pemanas ini sesuai digunakan di bilik bersih, dengan standard ISO Class 1–100. Permukaan dan komponen-komponennya dipilih sedemikian rupa agar tiada zarah-zarah tertentu terbentuk semasa operasi berlangsung. Repeatabiliti proses pemprosesan juga terjamin, kerana setiap kitaran pemprosesan akan mempunyai suhu yang sama.
Mengapa ia sesuai untuk proses fotoresist
Proses “soft bake” bertujuan untuk mengeluarkan pelarut dan mengawal tekanan pada lapisan film tersebut. Proses “hard bake” pula bertujuan untuk memastikan lapisan tersebut melekat dengan baik dan tahan terhadap proses pengikisan. Dengan penggunaan pemanas inframerah gelombang sederhana, proses-proses ini dapat dilakukan dalam julat suhu yang tepat, sekali gus mengurangkan ketidakkonsistenan pada lebar garis dan mencegah kecacatan yang disebabkan oleh perubahan suhu.
Ini bermakna pengulangan proses pemprosesan dapat dikurangkan, kadar kejayaan proses menjadi lebih tinggi, dan kawalan ketepatan dimensi bahan pun lebih baik. Penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan, dan kebolehpercayaan mesin tetap tinggi walaupun beroperasi 24/7 tanpa henti.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Pemasangan memerlukan penyesuaian optik yang tepat, serta bekalan kuasa yang stabil. Voltan dan sambungan perlu disesuaikan dengan peralatan utama yang digunakan. Penggunaan pemanas inframerah gelombang sederhana memberikan keseragaman yang sangat baik, namun pemanas tersebut perlu disesuaikan mengikut saiz wafer dan geometri chuck yang digunakan.
Anda perlu melalui tempoh ujian singkat untuk menyesuaikan keluaran haba agar sesuai dengan jenis lapisan film yang digunakan. Setelah itu, proses pemprosesan akan tetap stabil, dan penyelenggaraan juga akan menjadi lebih mudah.