Di bilik pengeluaran, toleransi pemeriksaan menggunakan SEM akan terjejas sebaik sahaja stesen sampel mula bergerak. Perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran bahan photoresist atau semasa proses pemindaiannya boleh mengubah lebar garis gambar, menjejaskan kontrasnya, dan memerlukan proses penilaian semula. Anda memerlukan sistem pemanasan yang boleh dipercayai – yang memberikan prestasi yang konsisten, bersih, dan boleh diulang.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami telah mencipta pemanas SEM yang berfungsi berdasarkan mekanisme termal yang terkawal. Pemanas ini menggunakan sinar inframerah gelombang pendek, jadi ia dapat bertindak dengan cepat, dengan masa tindak balas yang singkat. Kestabilan suhu di kawasan aktif kekal pada tahap ±0.1°C, sehingga suhu tidak menjadi faktor yang mengganggu proses litografi.
Badan pemanas ini diperbuat daripada kuarsa dan seramik berkualiti tinggi – sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih tahap 1–100. Ia juga direka untuk menghasilkan tiada zarah pencemar. Ketepatan keluaran pemanas ini kekal dalam lingkungan ±0.5%, dan reka bentuknya memenuhi standard antarabangsa untuk peralatan semikonduktor dari segi kuasa, voltan, dan dimensi mekanikal.
Mengapa ia berkesan dalam praktik
Pemanas ini direka khusus untuk stesen SEM di mana kawalan suhu sangat penting, dan pencemaran sama sekali tidak dibenarkan. Ia membantu mengurangkan variasi ketebalan wafer, sehingga mengurangkan keperluan untuk proses pembaikan. Hasilnya, jumlah bahan buangan berkurangan, dan kitaran pemeriksaan menjadi lebih stabil.
Penggunaan tenaga juga efisien – dengan penghasilan tenaga yang efektif dan kerugian semasa operasi yang minimum. Bahan-bahan yang digunakan tahan terhadap pelepasan gas di bawah vakum, jadi suasana di dalam bilik tetap bersih. Dalam penggunaan sebenar, pemanas ini dapat beroperasi selama lebih dari 5,000 jam tanpa penurunan prestasi yang signifikan, sekali gus memungkinkan operasi 24/7 tanpa gangguan.
Beberapa realiti penggunaan
Pemanas ini merupakan alternatif yang setara dengan modul pemanas standard untuk stesen SEM, namun toleransinya agak ketat. Lakukan penyesuaian setelah pemasangan agar ia sesuai dengan sistem kawalan suhu SEM tersebut. Pastikan juga tekanan dan kapasiti penyejukan bilik tersebut stabil. Suhu yang stabil bergantung pada kemampuan penghilangan haba yang konsisten. Dengan persiapan yang betul, kawalan suhu akan dapat menyokong ketepatan proses pengeluaran.