Elemen pemanas ganti Axcelis
Di lantai fab, alat ion implant atau photoresist bake perlu beroperasi 24/7 tanpa gangguan. Jika satu elemen pemanas mula berfungsi kurang dari...
Elemen pemanas Oxford Instruments
On the line, drift suhu tidak datang dengan label amaran. Ia muncul sebagai variasi lebar garisan, photoresist yang tidak melekat selepas soft bake,...