웨이퍼가 가열될 때까지 기다리는 데 시간을 낭비하지 마세요.
만약 여전히 반도체 처리 과정에서 열공기를 이용하고 있다면, 그건 사실상 기다리는 것에 불과합니다.
대류 방식의 작동 원리를 생각해보세요. 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를 가열하기를 기다려야 합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 그리고 제조 공장에서는 이러한 지연이 곧 돈의 낭비입니다.
적외선 가열 방식은 그런 중간 단계를 생략합니다. 공기를 가열하는 대신, 전자기파를 직접 기판에 전달합니다. 실시간으로 가열이 이루어집니다.
속도의 중요성
열공기 시스템을 사용해본 사람이라면 긴 예열 시간이 얼마나 짜증나는지 잘 알 것입니다. 그저 챔버가 안정될 때까지 기다려야 하죠. 정말 답답한 일입니다.
적외선 램프는 그 문제를 해결해줍니다. 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다. 경화나 가스 제거 작업을 할 때는 그 차이가 엄청납니다. 가열 시간을 40%에서 70%까지 줄일 수 있습니다.
이건 단순한 ‘개선’이 아닙니다. 실제로 각 웨이퍼의 가열 시간을 몇 초씩 단축시키는 것입니다. 이는 빠르게 누적됩니다.
단점들 (항상 단점은 있죠)
물론, 그냥 히터를 제거하고 적외선 램프를 설치하는 것만으로는 충분하지 않습니다.
적외선 램프는 매우 강력한 열을 발생시킵니다. 램프의 위치가 조금만 잘못되어도 특정 부위가 과열되어 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
또한 센서도 다시 고려해야 합니다. 주변 공기 온도를 확인하는 것은 더 이상 의미가 없습니다. 실시간으로 기판의 상태를 모니터링해야 합니다.
자신의 환경에 맞게 활용하기
대부분의 제조 공장에서는 공간이 점점 더 부족해지고 있습니다. 공간은 매우 귀중한 자원입니다.
거대한 대류 오븐은 너무 많은 공간을 차지하기 때문에 문제가 됩니다. 반면 적외선 배열은 훨씬 작아서 컨베이어 라인에 쉽게 설치할 수 있습니다.
이를 통해 배치별 처리가 아닌 연속적인 처리가 가능해집니다. 속도도 빨라지고, 다른 기계 부품들도 오랫동안 과열되는 일이 없습니다.
한 가지 주의할 점은, 냉각 팬이 방출되는 열을 감당할 수 있는지 확인해야 한다는 것입니다. 그렇지 않으면 제어 장비가 손상될 수 있으며, 결국 처음부터 다시 시작해야 합니다.