반도체 진공 챔버를 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 만약 반도체 진공 챔버에서 고출력 IR 램프를 사용해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 열에 대항하는 것은 계속되는 싸움과 같습니다. 문제는 일반적인 램프들이 에너지를 360도로...

화학적 세정제를 사용하는 것에 대해 더 이상 걱정할 필요 없습니다. 솔직히 말해서, 인화성이나 폭발성이 있는 세정제를 가열하는 것은 매우 위험한 일입니다. 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 그건 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 작은 스파크나 석영에 생긴 미세한...