چرا از روش خشککردن با امواج مادون قرمز برای ابزارهای مربوط به ویفرها استفاده میکنیم؟
اگر در حال کار با محصولات بدون سرب یا محصولات سازگار با محیط زیست هستید، میدانید که فشار چقدر زیاد است. نمیتوانید فقط به سطح الزامات نزدیک شوید؛ بلکه باید دقیقاً به آنها عمل کنید. اینجاست که روش خشککردن با امواج مادون قرمز به کار میآید.
فکر کنید به یک فر معمولی؛ این فر، کل اتاق را گرم میکند تا فقط یک صفحه را گرم کند. این کار، هدررفت انرژی است. لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها انرژی را مستقیماً به سطح ویفر هدایت میکنند.
این روش، مستقیم و سریع است.
از آنجایی که از امواج کوتاه یا متوسط مادون قرمز استفاده میکنیم، انرژی مستقیماً وارد سطح ویفر میشود. در نتیجه، نیازی به گرم کردن حجم زیادی از هوا یا استفاده از مواد حلکننده نیست. گرما، دقیقاً به جایی میرود که باید برود؛ یعنی به داخل ویفر، نه به دیوارههای ابزار. این کار، هزینههای برقی شما را کاهش میدهد و فضای مورد نیاز برای تولید را کوچک نگه میدارد.
یکی دیگر از مزایا، عدم وجود آلایندههاست.
روشهای خشککردن قدیمی، معمولاً نیاز به کاتالیزورهای شیمیایی یا دمای بسیار بالا دارند؛ که منجر به تولید ترکیبات آلی فرار میشود. هیچ کس نمیخواهد چنین چیزی در ریههایش یا در فرآیند تولیدش وجود داشته باشد. لامپهای مادون قرمز، نیازی به چنین افزودنیهایی ندارند؛ بنابراین فرآیند خشککردن، خشک و بدون آلاینده خواهد بود.
البته، یک مشکل نیز وجود دارد: این لامپها، مقدار زیادی گرما در مدت زمان بسیار کوتاهی تولید میکنند. میتوانید ویفر را در چند ثانیه خشک کنید؛ اما اگر سیستم خنککننده مناسبی نداشته باشید، دمای محیط افزایش مییابد و اندازهگیریهای سنسورها دچار اختلال میشود. برای جلوگیری از این مشکل، ما همیشه از پیرومترهای دقیق برای کنترل دما استفاده میکنیم.
در کارهای روزمره، ما از روش سادهای استفاده میکنیم؛ اگر یکی از لامپها خراب شود، کافی است آن را عوض کنید. نیازی نیست ساعتها وقت صرف تنظیم دوباره پارامترهای حرارتی کنید. علاوه بر این، در منطقه گرمایشی، هیچ فن یا دستگاهی برای ایجاد گرد و غبار وجود ندارد. کمتر بودن قطعات در حرکت، به معنای کمتر بودن ذرات گرد و غبار است؛ بنابراین شرایط اتاق تمیز، همانطور که باید، حفظ میشود.