نگهداری واferهای سنسور MEMS در حالت کاملاً تمیز
هنگام خشک کردن واferهای سنسور MEMS، گرما تنها نیمی از مشکلات را برطرف میکند. مشکل واقعی، ترشح ذرات کوچک است. در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱۰۰، یک تکه کوچک از الیاف قدیمی یا کمی چسب، میتواند کل مجموعه سنسورها را از بین ببرد. این امر باعث ناراحتی، هزینه زیاد و عدم کارایی میشود؛ اما کاملاً قابل جلوگیری است.
به همین دلیل، از لامپهای کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها باعث آلودگی نمیشوند.
چرا کوارتز مؤثر است؟
اکثر لامپهای گرمایشی، از بدنههای فلزی یا قطعات سرامیکی ساخته شدهاند. مشکل این است که این مواد در طول زمان، ذرات کوچکی را ترشح میکنند.
لامپهای کوارتزی به شکل متفاوتی کار میکنند؛ آنها از انتقال حرارت تابشی استفاده میکنند؛ یعنی حرارت مستقیماً از الیاف به سمت واfer منتقل میشود. هیچ واسطهای وجود ندارد؛ بنابراین هیچ مادهای نمیتواند به سنسورها آسیب برساند. ما از نوع خاصی از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ تا حتی در دماهای بالا، شیشه تخریب نشود و گازی ترشح نشود.
تعادل بین توان و گرما
برای دستیابی به زمان خشک شدن سریع، ما مقدار زیادی توان را در فضای بسیار کوچکی جمع میکنیم. این روش مؤثر است؛ اما مشکل اینجاست که سطح لامپ بسیار داغ میشود. اگر فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده مناسب نباشند، سوکتها یا فریم دستگاه دچار گرمای بیش از حد خواهد شد. قبل از اتصال این لامپها به دستگاه، حتماً جریان هوا را بررسی کنید؛ این کار میتواند از مشکلات بعدی جلوگیری کند.
تسهیل کار در محیطهای صنعتی
ما میدانیم که توقف کار، دشمن اصلی است؛ بنابراین این لامپها را طوری طراحی کردهایم که تعویض آنها آسان باشد. از کانکتورهای استاندارد استفاده کردهایم؛ بنابراین وقتی لامپ خراب شد، کافی است آن را برداشته و لامپ جدیدی را جایگزین کنید. نیازی به تنظیم مجدد کل سیستم نیست.
همچنین، سطح کوارتز را طوری تیمار کردهایم که از ایجاد فرورفتگیها روی سطح جلوگیری شود؛ این کار باعث میشود گرما به طور یکنواخت در سراسر واfer پخش شود. این موضوع برای غشاهای نازک MEMS بسیار مهم است؛ زیرا اگر این غشاها در نقاط داغ قرار بگیرند، دچار تغییر شکل میشوند.
یک نکته آخر: سطح کوارتز را تمیز نگه دارید. اگر اثر انگشت یا روغن پوست روی سطح کوارتز باقی بماند، آنها در شیشه نفوذ خواهند کرد. در این صورت، نقطه سردی در سطح کوارتز ایجاد خواهد شد و لازم خواهد بود لامپ را تعویض کنید. از دستکش استفاده کنید تا سطح کوارتز تمیز بماند.