در کارخانههای تولید، خطوط تولید مبتنی بر ویفر، نمیتوانند اجازه دهند که دما در حین فرآیندهای پردازش فوتورزیست یا خشک کردن ویفر، تغییر کند. تغییر ۱ درجه سانتیگراد در دما، میتواند باعث تغییر ابعاد کلیدی ویفر شود؛ همچنین، وجود رطوبت باقیمانده پس از تمیزکاری، میتواند بر کیفیت تولید تأثیر منفی بگذارد. به همین دلیل، ما یک هیتر مادون قرمز برای این فرآیندها طراحی کردهایم؛ زیرا در این فرآیندها، کنترل دما امری ضروری است.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از امواج مادون قرمز کوتاهبرد استفاده میکنیم تا به سرعت و بدون تماس مستقیم، ویفر را گرم کنیم؛ همچنین، یکنواختی دما در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. الکترومغناطیسهای قرار گرفته در این هیتر، انرژی را مستقیماً به فوتورزیست و سطح ویفر منتقل میکنند؛ بنابراین، تأخیر حرارتی کم میشود و پروفایل دمایی نیز پایدار باقی میماند. شما میتوانید دما را تنظیم کنید، و سنسورهای موجود، دما را در تمام مراحل فرآیند، به طور یکنواخت حفظ میکنند؛ در نتیجه، ضخامت لایههای تشکیل شده و نقصهای ناشی از تمیزکاری، در محدوده مشخصی باقی میماند.
این هیتر برای محیطهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ زیرا هیچ ذرهای تولید نمیشود، مواد دارای تراکم گاز کمی هستند، و سطح ویفر نیز صاف است و قابل تمیزکاری است. این هیتر ۲۴ ساعته کار میکند و نیاز به تعمیرات منظم ندارد؛ بنابراین، توقفهای ناخواسته، مشکلی برای شما ایجاد نخواهد کرد.
چرا این هیتر برای این فرآیندها مناسب است؟
این هیتر، مشکلات مربوط به خشک کردن ویفر، فرآیندهای پردازش فوتورزیست و مراحل بعدی را حل میکند. سرعت بالای این هیتر، زمان انجام فرآیندها را کاهش میدهد؛ همچنین، پایداری دما، باعث کاهش نوسانات در فوتورزیست میشود. مصرف انرژی نیز کمتر میشود؛ زیرا این هیتر تنها زمانی روشن میشود که نیاز به این کار وجود داشته باشد. در نتیجه، ضخامت لایههای تشکیل شده یکنواخت خواهد بود، نقصهای ناشی از تمیزکاری کمتر خواهد بود، و فرآیند تولید نیز در شرایط مناسبی انجام خواهد شد. نتیجه این امر، کیفیت بالاتر در تولید و کاهش مواد فرابور است؛ که مستقیماً به کنترل دما بستگی دارد.
چه چیزهایی باید بدانید؟
برای نصب این هیتر، باید رابطهای لازم را در نظر بگیرید؛ الگوهای نصب، انواع کانکتورها و ولتاژ، باید با سیستم شما سازگار باشد. این هیتر زمانی بهترین عملکرد را دارد که مسیر دید وجود داشته باشد و سطوح بازتابنده نیز به درستی مدیریت شوند؛ در غیر این صورت، نقاط داغی روی ویفر ایجاد خواهد شد. همچنین، باید آنالیزهای دورهای دما انجام شود و برنامهریزی مناسبی برای تعویض الکترومغناطیسها وجود داشته باشد. با این کار، میتوانید یکنواختی دما را در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ کنید و فرآیند تولید را تحت کنترل نگه دارید.