در خط تولید، در همان لحظهای که ویفر از فرآیند شستشوی نهایی خارج میشود، زمان شروع فرآیند خشککردن آغاز میگردد. هرگونه تأخیر در فرآیند خشککردن، منجر به ایجاد ناهمواریها، تجمع ذرات و مشکلات دیگری میشود؛ این مشکلات سپس به فرآیندهای لیتوگرافی و حکاکی منتقل میشوند. لامپهای خشککن مورد استفاده در ما، به گونهای طراحی شدهاند که این نوسانات را از بین ببرند. این لامپها کنترل دقیق دما را در همان محلی که فرآیند خشککردن انجام میشود، فراهم میکنند؛ بنابراین پروفایل دمایی ویفر در هر بار تولید، یکسان باقی میماند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد، این است که منابع مادون قرمز کوتاهموج و متوسطموج در کپسولهای کوارتزی قرار دارند؛ این کپسولها با نحوه جذب آب و حلالهای فوتورزیست تطبیق داده شدهاند. یکنواختی دمایی در سراسر ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، مقادیر دمایی در طول فرآیندهای خشککردن، ثابت باقی میمانند. سازگاری این لامپها با محیطهای تمیزسازی در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰، یک ویژگی ذاتی این لامپهاست؛ این ویژگی از طریق استفاده از موادی با خروجی گاز کم، بدنههای مهر و موم شده، و جریان هوای با فشار مثبت، حاصل میشود. عملکرد این لامپها در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت، پایدار است؛ درصد نوسانات شدت نور نیز کمتر از ۵٪ است. روالهای کالیبراسیون و سیستمهای اتصال PLC، باعث میشوند که فرآیند خشککردن در محدوده دمایی مورد نظر انجام شود؛ همچنین، طراحی لامپ و بازتابنده، مصرف انرژی را کاهش میدهد.
شما به خشککردنی نیاز دارید که بتواند با سرعت فرآیند تولید همگام شود؛ بدون نیاز به تلاش برای رسیدن به مقادیر دمایی مشخص یا توضیح نوسانات در فرآیند خشککردن. این لامپها با حفظ یکنواختی پروفایل دمایی، فرآیند خشککردن را تسریع کرده و مقدار ضایعات را کاهش میدهند؛ این کار در هر ویفر، در هر محموله، و در هر روز انجام میشود. وقتی که تفاوت دمایی بین لبهها و مرکز ویفر از بین برود، فرآیند تولید بهتر خواهد بود؛ در نتیجه، ضخامت فوتورزیست پیشبینیپذیرتر خواهد بود، نقصها کمتر خواهد شد، و نیاز به کارهای تعمیراتی کمتر خواهد بود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا لامپ به سرعت به مقدار دمایی مورد نظر میرسد و آن را ثابت نگه میدارد؛ در نتیجه، نوسانات کمتری وجود دارد.
تطبیق خروجی لامپ با شرایط سطح ویفر و محیط تولید، به پارامترهایی مانند چگالی انرژی، پاسخ طیفی، و هندسه نصب لامپ بستگی دارد. ما اندازه سیستم را بر اساس قطر ویفر، زمان خشککردن، و کلاس محیط تمیزسازی تنظیم میکنیم؛ همچنین، رابطهایی برای اتصال به سیستمهای PLC و سیستمهای ایمنی نیز فراهم میکنیم. انتظار داشته باشید که فرآیند گرم شدن و سرد شدن لامپ، به طور کنترلشده انجام شود؛ نرخ تغییر دما باید به گونهای تنظیم شود که لامپ و ویفر دچار آسیب نشوند. مطمئن شوید که سیستمهای تخلیه و خنککننده، با الزامات بدنه لامپ سازگار باشند. وقتی که این سیستم به درستی تنظیم شود، لامپ میتواند ۲۴ ساعته کار کند، با فواصل تعمیراتی پیشبینیپذیر، و با کمترین زمان توقف.