چگونه از منعکسکنندههای مناسب برای خشک کردن ویفرها استفاده کنیم
هنگام خشک کردن ویفرها در کارخانههای تولید تراشههای نیمههادی، شما در واقع با گرما بازی میکنید؛ هر اشتباهی میتواند منجر به تغییر شکل ویفر یا آلودگی شیمیایی آن شود.
به همین دلیل از روش خشک کردن با امواج مادونقرمز استفاده میکنیم؛ این روش انرژی را مستقیماً به سمت سطح ویفر میفرستد. نیازی به استفاده از هوای گرم یا مواد حلال نیست. این روش تمیزتر، کارآمدتر است؛ در واقع، این روش با استانداردهای «زیستمحیطی» که همگی به دنبال آن هستیم، سازگار است.
چرا منعکسکنندهها مهم هستند؟
در واقع، لامپهای مادونقرمز به تنهایی کمی پرآشوب هستند؛ آنها تشعشعات را در تمام جهات پراکنده میکنند. اگر لامپ را در یک محفظه قرار دهید، در واقع نصف انرژی آن را هدر میدهید.
ما این مشکل را با استفاده از منعکسکنندههای آلومینیومی یا طلاکوب شده برطرف میکنیم؛ این منعکسکنندهها انرژی هدررفته را جذب کرده و آن را دوباره به سمت ویفر میفرستند. در نتیجه، شدت گرما دوبرابر میشود. ما این منعکسکنندهها را طوری تنظیم میکنیم که فقط امواج مادونقرمز کوتاه را منعکس کنند؛ به این ترتیب گرما به سمت فوتورزیست یا ماده خشککن برخورد میکند، بدون اینکه سطح ویفر آسیب ببیند.
مقابله با گرما
لامپهایی با توان بالا بسیار گرم میشوند. اگر منعکسکننده شما شکل کاملاً پارابولیک یا بیضوی نداشته باشد، نقاط گرم بر روی سیلیکون ایجاد خواهد شد. همچنین، اگر زاویه منعکسکننده نادرست باشد، خشک کردن ویفر به شکل نامنظم انجام خواهد شد.
این موضوع همچنین مربوط به قوانین فیزیک است؛ اگر منعکسکننده تحت تأثیر گرما تغییر شکل دهد، نقطه تمرکز گرما نیز تغییر خواهد کرد. به همین دلیل، ما این منعکسکنندهها را طوری طراحی میکنیم که حتی در شرایط سخت نیز شکل خود را حفظ کنند.
مزایا و معایب
فکر میکنیم هرچه بازتابندگی بیشتری داشته باشد، بهتر است؛ اما اینطور نیست.
آن لایههای روکشی با کیفیت بالا بسیار حساس هستند؛ اگر سعی کنید آنها را با مواد شیمیایی تمیز کنید، لایه بازتابنده آنها از بین خواهد رفت. لطفاً مراقب باشید؛ از روشهای تمیزکردن مناسب استفاده کنید تا لایه بازتابنده حفظ شود.
یک نکته دیگر: هرچه چگالی گرما بیشتر باشد، منابع تأمین انرژی و فنهای خنککننده باید بیشتر کار کنند. حتماً تهویه محیط را بررسی کنید؛ اگر فنها کافی نباشند، در واقع در حال ساخت یک فر بسیار گرانقیمت هستید.