جلوی تبدیل تجهیزات پرقدرت شما به یک فر را بگیرید!
اگر تا به حال با لامپهای مادون قرمز با توان بالا در دستگاههای نیمههادی کار کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. وقتی این لامپها را روشن میکنید، کل دستگاه شروع به جذب حرارت میکند.
این یک چرخه آزاردهنده است؛ بدون وجود راهی برای کنترل این تابش، حرارت فقط به ویفر برخورد نمیکند، بلکه به همه جا پخش میشود. حرارت به دیوارههای داخلی دستگاه برخورد کرده و باعث میشود که بدنه دستگاه به یک منبع حرارتی عظیم تبدیل شود. در نتیجه، دستگاه آنقدر گرم میشود که میتواند باعث سوختن اپراتور یا خرابی کامل تجهیزات الکترونیکی شود.
راهحل: استفاده از سپر شیشهای کوارتز
میتوانید آن را به عنوان یک راهنمای حرارتی در نظر بگیرید. ما یک مانع ساخته شده از کوارتز را بین لامپ و دیوارههای محفظه قرار میدهیم تا از پخش شدن امواج مادون قرمز جلوگیری شود.
چرا کوارتز؟ چون تنها مادهای است که میتواند در برابر تغییرات شدید دما از دمای اتاق تا بیش از ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد مقاومت کند. کوارتز میتواند این شوکها را تحمل کند.
نکته مهم این است که لامپهای مادون قرمز، حرارت را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی در ۳۶۰ درجه. در یک کارخانه پراز تجهیزات، این امر منجر به هدررفت انرژی میشود. با استفاده از سپر، میتوانیم انرژی را دقیقاً به جایی که لازم است، یعنی روی ویفر، هدایت کنیم.
نتیجه چیست؟ بخش خارجی دستگاه همچنان خنک باقی میماند، و ویفر نیز دارای دمای یکنواختتری خواهد بود. این روش باعث میشود که دستگاه پایدارتر عمل کند.
اما، مانند هر چیز دیگری در مهندسی، این روش نیز دارای معایبی است.
شما یک لایه شیشهای اضافه میکنید؛ بنابراین مقداری از انرژی مادون قرمز از طریق جذب توسط شیشه از بین میرود. این موضوع چندان مشکلساز نیست، اما احتمالاً لازم است توان لامپ را افزایش دهید یا زمان کارکرد لامپ را تنظیم کنید تا فرآیند کاری شما به درستی انجام شود.
همچنین، حتماً فنهای خنککننده دستگاه را بررسی کنید؛ اگر آنها قادر به تحمل حرارت اضافی نباشند، ممکن است مشکلاتی در ناحیه سپر ایجاد شود. همچنین، استفاده از سیمهای با استحکام بالا نیز مهم است؛ چون هیچ کس نمیخواهد با مشکلات ناشی از ذوب شدن عایقها در نزدیکی بدنه کوارتز روبرو شود.