در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۲ درجه سانتیگراد در طول مرحله گرمایش، موضوع بیاهمیتی نیست؛ بلکه میتواند باعث کاهش بازده تولید شود. فتورزیستهای DUV، ابعاد خود را در دقایق اولیه گرمایش تثبیت میکنند؛ همچنین مرحله گرمایش، کنترل حذف حلالها، تنشهای ناشی از فیلم و مشکلات مربوط به لبههای فیلم را نیز در بر میگیرد. وقتی یکنواختی دمایی کاهش یابد، مشکلاتی مانند وجود خطوط نامنظم یا تغییرات در ابعاد فیلم پیش میآید؛ این مشکلات میتوانند منجر به از بین رفتن کل محموله تولید شوند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از لامپهای گرمایشی DUV استفاده میکنیم؛ این لامپها از حرارت نزدیک به مادون قرمز برای گرم کردن فتورزیستها استفاده میکنند. میدان حرارتی در این لامپها تا سطح زیر میلیمتری یکنواخت است؛ همچنین قابلیت تکرارپذیری این فرآیند در سطح ویفر نیز بالاست. الگوی حرارتی این لامپها با هندسه ویفر هماهنگ است؛ نه فقط با دادههای دریافتی از دستگاههای اندازهگیری. در ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری، منطقه گرمایش دمای مورد نیاز را به خوبی کنترل میکند؛ این امر باعث میشود دمای گرمایش فتورزیستها در محدوده مشخصی باقی بماند و از سلامت فیلم حفاظت شود. این سیستم برای محیطهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ مواد و قطعات مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات در حین گرمایش صفر باشد.
چرا این روش در تولید مؤثر است؟
در کارخانههای تولید، نیاز به عملکرد یکنواخت در هر شیفت و هر محموله تولیدی وجود دارد. این لامپها، قابلیت تکرارپذیری فرآیند را حتی در شرایط کار ۲۴ ساعته نیز حفظ میکنند؛ همچنین، دستگاههایی که با این لامپها کار میکنند، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای کار میکنند. نتیجه این امر، کاهش تعداد کارهای تکراری، یکنواختی مطلوب در ابعاد فیلم و تبخیر یکنواخت حلالها در سراسر ویفر است؛ بدون نیاز به تنظیمات مجدد دستگاه یا ارزیابی مجدد فرآیند پس از تعمیرات.
جزئیات عملی که نمیتوان نادیده گرفت
گرمایش با استفاده از نور مادون قرمز، سریع و بدون آلاینده است؛ اما نیاز به تنظیم دقیق اپتیکی و محیطی کنترلشده وجود دارد. لامپ باید با نوع خاص فتورزیست و شرایط پشتی ویفر هماهنگ باشد؛ در غیر این صورت، تفاوتهای بازتابندگی میتواند باعث ایجاد اختلافات در سراسر ویفر شود. ابتدا باید یک آزمایش کوتاه با فتورزیست فعلی انجام شود؛ سپس تنظیمات لامپ ثابت میشود. پس از این کار، فرآیند گرمایش به خوبی انجام میشود و خط لیتوگرافی شما دارای پایداری حرارتی مناسبی خواهد بود.