دیگر وقت خود را صرف انتظار برای گرم شدن ویفرها نکنید!
اگر هنوز از سیستمهای گرمایش تهویه مطبوع برای فرآوری نیمههادیها استفاده میکنید، در واقع در حال اتلاف وقت هستید.
فرآیند گرم کردن هوا، فرآیندی آهسته است؛ یعنی باید منتظر بمانید تا هوا ویفرها را گرم کند. این موضوع در کارخانههای تولید، باعث اتلاف پول میشود.
سیستم گرمایش مادون قرمز، این مشکل را برطرف میکند؛ چرا که به جای گرم کردن هوا، تشعشعات الکترومغناطیسی را مستقیماً به سمت سطح ویفرها ارسال میکند.
این روش تقریباً بلافاصله اثر خود را نشان میدهد.
عامل سرعت
هر کسی که با سیستمهای گرمایش تهویه مطبوع کار کرده باشد، میداند که چقدر انتظار برای گرم شدن محیط کار، آزاردهنده است. اما لامپهای مادون قرمز، دمای مورد نظر را در عرض چند ثانیه به دست میآورند. این موضوع باعث کاهش زمان لازم برای گرم کردن ویفرها به میزان ۴۰ تا ۷۰ درصد میشود.
این یک بهبود ساده نیست؛ بلکه واقعاً ثانیههای زیادی را از هر ویفر صرفهجویی میکند.
مشکلات
البته، نمیتوانید فقط یک بخاری را جایگزین لامپ مادون قرمز کنید و کار را تمام کنید. لامپهای مادون قرمز، گرمای زیادی تولید میکنند؛ بنابراین اگر موقعیت قرارگیری لامپها کمی اشتباه باشد، مناطقی با دمای بالا ایجاد خواهد شد که میتواند باعث خراب شدن ویفرها شود.
همچنین، باید سنسورهای مورد استفاده را نیز بازنگری کنید؛ چرا که بررسی دمای هوای اطراف دیگر مفید نیست. برای اطلاع از وضعیت واقعی مواد، به نظارت در لحظه واقعی نیاز دارید.
استفاده در فضاهای محدود
فضای کارخانههای تولید، روز به روز کمتر میشود؛ بنابراین استفاده از اجاقهای بزرگ، مشکلات زیادی ایجاد میکند. لامپهای مادون قرمز، فضای کمتری را اشغال میکنند؛ بنابراین میتوان آنها را در خطوط تولید قرار داد.
این روش باعث میشود که فرآیند تولید به صورت پیوسته انجام شود؛ یعنی سریعتر خواهد بود، و سایر قطعات ماشین نیز نیازی به قرار گرفتن در معرض گرمای طولانی مدت نخواهند داشت.
نکته مهم: مطمئن شوید که فنهای خنککننده، بتوانند گرمای تولید شده توسط لامپهای مادون قرمز را کنترل کنند؛ در غیر این صورت، الکترونیکهای کنترلی ماشین خراب خواهند شد.