کاهش انتشار کربن در کارخانههای تولید نیمههادی: موضوع، خود پوششهای مورد استفاده است!
در حال حاضر، تمام کارخانههای تولید نیمههادی با چالشهای زیادی برای رسیدن به اهداف کاهش انتشار کربن روبرو هستند. راه حل واضح، جایگزینی سیستمهای گرمایشی قدیمی با سیستمهای IR دقیق است. اما مسئله اینجاست که لامپها تنها نیمی از مسئله را تشکیل میدهند.
جادوی واقعی در پوششهای ساخته شده از فولاد ضدزنگ نهفته است؛ اگر این پوششها به درستی ساخته نشوند، انرژی هدر خواهد رفت.
جلوگیری از اتلاف گرما
اگر میخواهید انتشار کربن را کاهش دهید، باید از اتلاف گرما جلوگیری کنید. این کار بسیار ساده است.
ما پوششهای مورد استفاده را از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا ساختهایم؛ زیرا شرایط حرارتی بسیار سختگیرانه است. اگر پوششها دچار تغییر شکل شوند، مشکلاتی پیش خواهد آمد. پوششهای نامناسب باعث میشوند تابش IR وارد اتاقهای تمیز شود؛ در نتیجه سیستم تهویه مجبور میشود با قدرت بیشتری کار کند و هزینههای انرژی نیز افزایش خواهد یافت.
به همین دلیل، ما از روشهای پیچش دقیق و جوشکاری TIG برای ساخت پوششها استفاده میکنیم؛ ما میخواهیم که گرما در داخل ویفر باقی بماند و اتاق گرم نشود.
راز در بازتاب نور
ما فقط از فولادهای عادی استفاده نمیکنیم؛ بلکه روی ساختار داخلی آنها تمرکز میکنیم تا بازتاب نور به بهترین شکل انجام شود.
با تمرکز بهتر بر تابش IR، میتوانیم میزان توان لامپها را کاهش دهیم، بدون اینکه دمای سطح ویفر کاهش یابد. در نتیجه، بازدهی کارخانه حفظ میشود، اما مصرف انرژی کاهش مییابد. این یک راه حل بسیار خوب است.
تعادل مناسب
البته، یک تعادل لازم است. فولاد ضدزنگ با ضخامت زیاد، جرم حرارتی بیشتری دارد؛ بنابراین زمان لازم برای رسیدن سیستم به دمای مورد نظر، بیشتر خواهد بود.
ضخامت پوشش نیز باید مناسب باشد؛ اگر خیلی نازک باشد، پوشش شروع به لرزش یا نشت گرما خواهد کرد؛ اگر خیلی ضخیم باشد، سرعت پاسخگویی سیستم کاهش خواهد یافت. باید نقطه تعادل مناسبی پیدا کرد.
استفاده در عمل
ما این پوششها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین پوششهای قدیمی و غیرکارآمد شوند.
ما آنها را به گونهای ساختهایم که گرما به طور یکنواخت در سراسر سطح ویفر پخش شود. اگر استانداردهای ساخت پوششها درست نباشد، نقاط گرم ایجاد خواهد شد؛ و نقاط گرم باعث از بین رفتن ویفرها خواهد شد.
هیچ کس نمیخواهد به دلیل ساخت نامناسب پوششها، محمولههای سیلیکون را از بین ببرد.