متوقف کنید این وضعیت ناخوشایند را؛ حفظ تمیزی فرآیند پردازش ویفرها
اگر تا به حال شاهد خراب شدن لامپ در هنگام کار با بار سنگین بودهاید، میدانید چه احساسی دارید. این فقط مشکل توقف کار نیست؛ بلکه مشکل بزرگتر این است که کل محموله ویفرها از بین میرود، زیرا فضای کاری پر از تکههای شیشه و مواد شیمیایی میشود. این وضعیت واقعاً آشفتهکننده است… یک وضعیت پرهزینه و بیثمر.
ما لامپهای مادون قرمز بدون ازن را به منظور جلوگیری از این مشکلات ساختهایم.
مشکلات مربوط به ازن
لامپهای معمولی، طول موجهایی کمتر از ۲۰۰ نانومتر تولید میکنند. این موضوع از نظر فنی مهم به نظر میرسد، اما در واقعیت، این طول موجها با اکسیژن موجود در هوا واکنش داده و آن را به ازن تبدیل میکنند.
در اتاقهای تمیز، ازن یک مشکل بزرگ است؛ زیرا این ماده خورنده است و مواد آلی را تخریب میکند. ما این مشکل را با استفاده از پوششهای ویژه کوارتزی حل کردهایم؛ این پوششها در واقع به عنوان فیلتر عمل کرده و طول موجهای مضر را مسدود میکنند. شما همچنان میتوانید از گرمای لازم برای خشک شدن سریع مواد استفاده کنید، اما بدون اینکه عوارض شیمیایی ناخوشایندی ایجاد شود.
دلایل خراب شدن لامپها
کار با بار سنگین، برای کوارتز بسیار سخت است؛ فشار حرارتی بسیار زیاد است. اکثر لامپها به این دلیل خراب میشوند که رشته الکتریکی لامپ ذوب شده و ناهموار میشود؛ در نتیجه نقاط داغی ایجاد میشود که در نهایت باعث خراب شدن لامپ میشود.
برای جلوگیری از این مشکل، از گاز هالوژن با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این گاز باعث میشود رشته الکتریکی لامپ پایدار باقی بماند و زودتر خراب نشود.
همچنین، در صورت کار با بار سنگین، تفاوت دمایی بین مرکز لامپ و انتهای آن بسیار زیاد است؛ اگر سیستم مهر و موم کردن لامپ ضعیف باشد، از آنجا نشتی اتفاق میافتد. ما سرپوشهای لامپ را تقویت کردهایم تا بتوانند این تغییرات دمایی را تحمل کنند و فشار داخلی لامپ را ثابت نگه دارند.
نکاتی که باید در نظر داشته باشید
هیچ لامپی کاملاً غیرقابل خرابی نیست.
به دلیل وجود لایه فیلتری در کوارتز بدون ازن، خروج نور لامپ کمی متفاوت از کوارتز معمولی است؛ شاید مجبور شوید میزان توان لامپ را ۲ تا ۵ درصد افزایش دهید، یا زمان کار لامپ را تنظیم کنید تا به دمای مورد نظر برسد.
همچنین، توصیه میشود که فنهای خنککننده لامپ را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که آنها میتوانند گرمای ایجاد شده در انتهای لامپ را مدیریت کنند، تا از خراب شدن تماسهای الکتریکی جلوگیری شود.