アクセルシス ヒーター素子 予備部品

ファブフロアでは、イオン注入またはフォトレジストベークツールは、ドリフトせずに24/7稼働しなければなりません。もし単一のヒーエレメントが性能を低下させると、熱均一性は±0.1°Cを超えて崩れ、フォトレジストプロファイルが変化します。次に気づくと、歩留まりの損失、再作業、計画外のメンテナンスがライ...