半導体ヒーター用熱電対

はじめに 半導体ウェーハを加熱する際、サーモカップルは単なる温度計として機能するだけではありません。それは、供給されるエネルギーの全てがウェーハ上で効果的に熱エネルギーに変換されるようにするための重要な要素です。 私たちは、赤外線エネルギーを反射するために金コーティングが施されたヒーターと連動して...