ウェーハ用高精度IRセンサー
ウェハの温度を正確に把握する方法(推測に頼らずに) 「スマートファブ」を構築しようとしているなら、手作業によるサンプリングがどれほど非効率的かご存知でしょう。時間がかかり、面倒であり、実際に何が起こっているのかを把握することはできません。 そこで役立つのが高精度のIRセンサーです。これにより、基板...
ミラーヒーター付きバスルーム
寒い天候でパティオの収益が失われるのを止めましょう。
これは本当に厄介な問題です。天気が悪くなると、外のスペースは使えなくなってしまいます。
ほとんどの人は、一般的な対流式ヒーターを使ってこの問題を解決しようとします。つまり、空気を温めようとするのです。しかし問題は、風が吹くと、その高価な熱もすぐ...
IPX4防滴形ヒーター
なぜ赤外線ヒーターはすぐ壊れてしまうのか(そして、私たちがどう対処したか) 正直に言えば、ほとんどの赤外線ヒーターは実際の使用環境には適していないのです。 湿気の多い場所や、液体が飛び散るような場所で使用すると、通常、早々に壊れてしまいます。水分が内部に入り込み、配線が短絡したり、発熱体が錆びてし...
IPX5防水等級のヒーター
浴室の湿気と戦うのはやめましょう。 ほとんどの浴室用ヒーターは、単に空気を温めるだけです。しばらくは快適に感じられますが、壁面は依然として湿ったままで、その重苦しい湿気の感じが残り続けます。
私たちは違う方法を採用しています。私たちの赤外線ランプは、空気ではなく、直接壁面や天井に作用します...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
安全を守る:化学処理エリアでのIRランプの使用について クリーンルーム内で赤外線ヒーターを使用する場合、特に可燃性の洗浄剤がある場所では、そのリスクは非常に高いです。わずかな火花や熱の漏れでも、単なる技術的な不具合にとどまらず、爆発の原因になり得ます。だからこそ、一般的なランプでは不十分なのです。...
ファブランプ用クォーツガラスシールド
高効率なIRランプを使う半導体製造装置では、このような問題に直面することがあります。ランプを点灯すると、すぐに装置全体が熱を吸収し始めます。これは厄介な状況です。その放射熱を制御する手段がないため、熱はウェーハだけでなく、あちこちに散らばります。内部の壁に当たってチャassis全体が巨大な放熱体と...
ミラー付き赤外線ヒーターバスルーム
なぜバスルーム用ヒーターには耐爆性のあるクォーツが使われるのか? バスルームというのは、ヒーターにとって本当に厳しい環境です。考えてみてください。数秒で管の中の温度が極めて高くなります。そして、水や蒸気がその管にかかるのです。 通常のクォーツでは、そんな状況に耐えられません。簡単に割れてしまうので...
工場乾燥設備のエネルギー監査
1個の壊れたランプが全てのウェーハを台無しにするのを防ごう
高負荷の製造環境で働いている人なら、その恐ろしい状況をよく知っているでしょう。1つのランプが壊れるだけで、作業中の全てのウェーハが廃棄処分になってしまいます。
単に熱が出なくなるだけではありません。破損した石英管はまるでガラスの手榴弾のよ...
バスルーム用ミラーヒーター
もう、バスルームが温まるのを待つ必要はありません。
冬の間に更衣室やバスルームに入ったとき、すぐに体が冷え切ってしまったことはありませんか?それは本当に最悪です。ほとんどのヒーターは空気を温めることでこの問題を解決しようとしますが、それには時間がかかります。部屋が少しずつ温まっていく間、私たちはた...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
クリーンルーム内に熱を供給する際に、汚染を引き起こさない方法とは?
半導体製造のためのクリーンルームに熱を加えるのは、注意しないと大変なことになります。少しでも間違えると、至る所が汚染されてしまいます。そのため、私たちはトロリータイプのヒーターとして赤外線を利用しています。
強制的な熱風は不要です...
防水タイプのテーブルヒーター IP55等級
なぜIP55等級のヒーターが頻繁に短絡するのか(そしてその対策法) 防水機能を持つヒーターの実情というのは、ほとんどの場合、同じ箇所で故障するということです。それは常に、導線がヒーター部分に接続されている部分です。 IP55等級のテーブルヒーターを購入するとき、単に少しの水しぶきに耐えられるケース...
真空チャンバー用赤外線ヒーター
半導体用真空チャンバーで高出力の赤外線ランプを使用したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。常に熱の問題と戦っているのです。
問題は、一般的なランプではエネルギーが360度全方位に散乱してしまうことです。密閉された真空環境では、その熱のほとんどがウェーハに当たることはありません。代わりに...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
なぜクリーンルーム用の赤外線ヒーターにおいては断熱処理が重要なのか
クリーンルームでは、わずかな電気的な故障でさえ許されません。すべてが完璧でなければなりません。こうした場所向けに赤外線ヒーターを製造する際、私たちは単にどれだけの熱を発生させるかだけを考えているわけではありません。電流が本来行くべ...
パーゴラ用防水ヒーター
ペルゴラを本当に暖かくする方法(手間をかけずに) 外で過ごしたいと思っても、5分もすれば寒さで震えるなんて、誰だって嫌ですよね。私たちはその問題を解決したいと思いました。目標は簡単でした。天候にさらされている状態でも、まるで室内にいるかのような快適さを提供するヒーターを作ることです。
私たちは短波...
認定インフラーアレッド硬化ランプ製造工場
ファブ内での処理時間を短縮するために:なぜIR硬化法が強制送風式より優れているのか
もしまだ強制送風式を使っているのであれば、毎日「時間的なコスト」を支払っていることになります。
空気を加熱する仕組みを考えてみてください。基板が何かを感じる前に、まずはチャンバー全体や壁、そして空気自体を温めなけれ...