ウェーハレベルCSP チップスケールパッケージ ヒーター

製造現場では、ウェーハレベルのCSP工程においては、フォトレジストの処理や乾燥の過程で温度が変動してはなりません。ソフトベイクやハードベイク時に1℃の温度変動があるだけでも、ウェーハの寸法に影響を与えます。また、洗浄後に残った水分も歩留まりを低下させます。そのため、こうした工程には赤外線ヒーターが...