高負荷環境下でのウェーハの汚染対策 半導体製造工場において、ランプが壊れることは大きな問題です。単に生産停止だけでなく、廃棄物処理も大変です。重負荷によって石英ケースが破損すると、ガラスの破片や有害な不純物がウェーハ上に散乱してしまいます。 まさにそのために、私たちはUHPヒーターランプを開発しま...

なぜ、私たちは「密閉型」の防水ヒーターの製造をやめたのか ほとんどのIP65等級のヒーターは、まるで金庫のように作られています。ほこりや雨から内部を守るために、あらゆる部分がしっかりと密封されています。これは聞こえは良いですが、実際に何かが壊れてしまったときは問題です。 5年後、ヒーターの発熱体が...

飛散物を防ぐ：高負荷の赤外線ランプを使用する際にウェーハをきれいに保つ方法 正直に言って、半導体工場で赤外線ランプが故障すると、それは本当に厄介な状況です。単に機械が止まるだけではありません。ウェーハにはガラスの破片や蒸発したタングステンが降り注ぎます。1つのランプが故障するだけで、数秒で大量のウ...

なぜ半導体製造において、熱風を使わずに赤外線加熱を採用するのか？ 対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェハーを加熱します。これは非常に緩やかなプロセスです。ディーププロセッシングの世界では、このような遅れは単なる無駄な時間に過ぎません。 だからこそ、私...

ウェーハが加熱されるのを待って時間を無駄にするのはやめましょう。 もし依然として半導体加工に熱風循環方式を利用しているなら、それは単なる待つだけの作業に過ぎません。 対流の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは非常に遅いプロセスです。そして...

なぜスマートセンサーの製造に赤外線硬化技術を採用するのか スマートセンサーを包装する際には、接着剤を適切に乾燥させ、チップも正しく封入する必要があります。長い間、みんなが使ってきたのは対流式オーブンでした。しかし、それは実質的に巨大なヘアドライヤーのようなもので、部品を温めるために部屋中の空気を加...

有害な化学物質が存在する環境でエミッターを安全に保つ方法 もし、化学洗浄ラインでIRエミッターを使用しているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。そこでは、火災を引き起こす可能性のある蒸気や、触れるものを腐食させてしまう化学物質が存在します。このような環境では、単純な石英と金属のシールだけで...

工場のヒーターを本当にスマートにする方法 ほとんどの工場で使われているヒーターは、使いづらいものです。おそらく、天井全体を温めようとする強制送風式のヒーターを使ったことがあるでしょう。しかし、その場合、皮膚が温かくなるまでに時間がかかります。 一方、天井埋め込み型の放射暖房機は異なります。空気を温...

ウェーハの硬化処理において、適切な反射器を選ぶことが重要です。半導体製造工場でウェーハを硬化処理する際は、熱という危険な要素を扱っているのです。少しでも間違えると、ウェーハが変形したり、化学的な汚染が生じたりしてしまいます。 そのため、私たちは赤外線を利用した硬化処理を採用しています。赤外線はエネ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、暖房は単に部屋を暖めるだけのものではありません。それは、微粒子との戦いでもあるのです。 半導体製造工場では、状況は非常に厳しいです。わずかな汚れや金属片があっただけで、ウェハーが台無しになってしまいます。そうならないように、私たちは高純...

蒸し暑いバスルームで赤外線ヒーターを安全に使うために 注意しなければ、浴室に赤外線ランプを設置するのは危険です。絶え間ない蒸気、偶発的な水しぶき、そして高い湿度が問題となります。そうした環境では、通常の加熱素子を使うと、短絡や接地故障が起こりやすくなります。空気がサウナのように暑くても、完全に断熱...

悪夢を止める：ランプが故障したときにCNTウェーハを清潔に保つ方法 もし、カーボンナノチューブの製造に携わったことがあるなら、熱管理がいかに重要かはご存知でしょう。しかし、その精密さには危険な側面もあります。大量生産を行っていると、赤外線ランプが破損したらどうなるのかという不安が常に付きまといます...

ウェーハを本当にきれいに乾燥させるために MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室でも、古くなったフィラメントの破片や接着剤の分解物といった微小な粒子が、一瞬で大量のセンサーを破壊してしまいます。これは非常に厄介...

半導体製造における金コーティングされた赤外線ランプについて話しましょう。 半導体製造において「グリーン」で鉛フリーの基準が求められていますが、これはすべての人々にとって少し頭痛の種となっています。古式の対流式オーブンは、実際に部品が熱を感じる前に、空気やチャンバーの壁を加熱するために多くのエネルギ...

浴室の暖房を最適に設定する方法 浴室用の赤外線ランプを選ぶとき、パッケージに記載されている最大出力のものを選びたくなります。しかし、それは間違った選択です。重要なのは、部屋が快適になる適切な出力を見つけることであり、無駄に多くの電力を消費したり、部屋の一部が冷え込んだりしないようにすることです。...