1個の壊れたランプが全てのウェーハを台無しにするのを防ごう
高負荷の製造環境で働いている人なら、その恐ろしい状況をよく知っているでしょう。1つのランプが壊れるだけで、作業中の全てのウェーハが廃棄処分になってしまいます。
単に熱が出なくなるだけではありません。破損した石英管はまるでガラスの手榴弾のようになり、破片や微細な粒子が生産ラインに飛び散ります。これは誰もが片付けたくないほどの大変な状況です。私たちは、そういう事態を防ぐために特別に赤外線ランプを設計しています。
なぜ石英管が壊れるのか
ほとんどの場合、それは熱ストレスやシール部の漏れが原因です。高負荷がかかると、発光するフィラメントと冷却された部分との間の温度差が非常に大きくなります。これにより材料に大きな圧力がかかります。
これに対処するため、私たちは厚壁の融着石英を使用しています。この素材は耐久性が高く、何度も電源をオン・オフしても変形しません。
しかし、それだけではありません。保護用のスリーブや耐衝撃コーティングも施されています。これはまるでセーフネットのようなもので、内部の石英が壊れても、コーティングが破片を留めてくれます。そうすれば、ウェーハはきれいな状態のまま残ります。
安定した電力供給
また、電力も注意が必要です。電流が急激に変動すると、フィラメントが壊れてしまいます。
ヒントとしては、電源装置の出力がランプの定格出力に合っていることを確認してください。少しでも多くの熱を得るために過度に負荷をかけたくなりますが、そうしない方が良いです。そうするとランプの寿命が短くなり、破損のリスクが高まります。
また、振動も問題です。騒がしく振動の多い環境では、接続部が緩むと大変なことになります。接続部が緩むとアークが発生し、その結果石英が割れてしまいます。私たちは精密に調整された端子を使用しているので、床がどれだけ揺れても接続がしっかり保たれます。
妥協点
もちろん、何も無料ではありません。これらの保護層を加えると、赤外線の一部が遮られてしまいます。完全に何もない状態のランプと比べると、約5～10％の熱量の減少が見られます。
そのため、保持時間を調整したり、電力設定を少し上げる必要があるかもしれません。
わずかな調整ですが、1個の壊れたガラス片のせいで製造が止まってしまうのを防ぐためには、それくらいの代償は必要です。