ウェハーツール用赤外線ランプソケット

ウェハーフロアでは、フォトレジストベイクは議論の余地がなく、単純に歩留まりに直結します。ソフトベイクやハードベイクの温度が0.5℃ずれるだけで重要寸法制御に影響が出ますし、パーティクルの急増はロット全体を台無しにします。だからこそ、装置の赤外線ランプソケットには、光学系やステージと同じレベルの設計...